成果名称 ---【 阴阳离子共掺的n型氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 】

基本信息
所属机构
中国科学院上海硅酸盐研究所
成果属性
应用技术
主题词
阴阳离子共掺;n型;氧化锌基;透明;导电性能;太阳能电池;光电器件
研究起止时间
2009-09 ~2013-01
成果公报内容
本发明提供了一种阴阳离子共掺的n型氧化锌基透明导电薄膜,所述掺杂的阳离子为高价阳离子Mn+,n为3、4、5或6;所述掺杂的阴离子为低价阴离子Xm-,m=1。本发明采用高真空磁控溅射技术(High-vacuumMagnetronSputtering),利用高价阳离子和低价阴离子双重促进氧化锌薄膜的n型透明导电性能,制备出高性能的阴阳离子共掺氧化锌多晶薄膜。含低价阴离子的化合物作为助熔剂还可以促进氧化锌基多晶薄膜的结晶,提高薄膜的可见透光性和电子导电性性能。本发明获得的高性能氧化锌基透明导电薄膜制备工艺简单,可见透明和导电性能优越,成本低廉,在太阳能电池和光电器件领域具有广泛的应用前景。


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