成果名称 ---【 氮化镓紫外色度探测器及其制作方法 】

基本信息
所属机构
中国科学院半导体研究所
主题词
氮化镓 紫外色度探测器 制作方法
研究起止时间
成果公报内容
本发明提出了一种新型的氮化镓紫外色度探测器,该器件能够判别照射到器件上的紫外光的波长。由于探测器的光电流与入射光强有关,不同的入射光强,表现出不同的光电流,所以普通的氮化镓(GaN)紫外探测器只能知道入射光是否是紫外光,而不能判断出紫外光的波长。在本发明提出的氮化镓紫外色度探测器的器件结构中,包含了两个背靠背的PIN结构氮化镓紫外探测器,这两个单元器件的具体结构参数不同,导致了两个器件的响应光谱也不同,但是这两个器件的光电流谱的比值是固定的,与入射光的光强无关,只与入射光的波长有关。只要利用合适的读出电路,能够得到与这两个单元器件的光电流的比值相关的数值,就可以判断出入射紫外光的具体波长。200410048228.4


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