专利名称 ---【 电子束图形扫描处理器 】

基本信息
申请号
CN200510086210.8
申请日
2005.08.08
公开(公告)号
CN1912746
公开(公告)日
2007.02.14
申请(专利权)人
中国科学院电工研究所
申请人地址
100080北京市北京海淀区中关村北二条6号
发明人
刘伟;方光荣; 专利类型 发明专利
摘要
一种电子束图形扫描处理器,由接口电路[1]、复 杂可编程逻辑器件[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路 [4]、图像检测电路[5]和工件台位置误差检测电路[6]构成。接 口电路[1]与复杂可编程逻辑器件[2]连接,数字信号处理器电路 [3]分别与复杂可编程逻辑器件[2]、数模转换电路[4]、图像检 测电路[5]、工件台位置误差检测电路[6]连接。本发明以高速数 字信号处理器为核心,通过USB接口和上位机实现通讯,单 元图形处理功能完全由数字信号处理器完成,并有高速高精度 的数模转换器。本发明速度快,精度高,扩展性好,可以实现 曝光扫描和图像采集两项基本功能。本发明的基本曝光图形单 元包括矩形、梯形、圆和圆环以及边界曲线任意可用函数式表 达的图形。
主权项
1、一种电子束图形扫描处理器,其特征在于由接口电路[1]、复杂可编 程逻辑器件[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路[4]、图像采集电路[5] 和工件台位置误差采集电路[6]构成;接口电路[1]与复杂可编程逻辑器件[2] 连接,数字信号处理器电路[3]分别与复杂可编程逻辑器件[2]、数模转换电 路[4]、图像采集电路[5]、工件台位置误差采集电路[6]连接。

 

IPC信息
IPC主分类号
G03F7/20(2006.01)
IPC分类号
G03F7/20(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L21/00(2006.01)

 

法律状态信息
法律状态公告日
2009.09.23
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回 法律状态信息
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态公告日
2008.05.07
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2007.02.14
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人姓名
关玲
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