专利名称 ---【 一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法 】

基本信息
申请号
CN201110328346.0
申请日
2011.10.26
公开(公告)号
CN103074563A
公开(公告)日
2013.05.01
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
邵花;王文东;夏洋;李勇滔 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及大气等离子喷涂技术领域,具体涉及一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法。所述改进方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对被喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),选择Ar和H2气体为离子气体,通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),对喷涂Y2O3涂层的基材进行低温慢退火处理。使用本发明制备的Y2O3涂层为纯正白色,色泽均匀,不再出现杂色斑点,并且具有优异的耐刻蚀性能。
主权项
一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对被喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),选择Ar和H2气体为离子气体,通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),对喷涂Y2O3涂层的基材进行低温慢退火处理。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C4/10(2006.01)I
IPC分类号
C23C4/10(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I;C23C4/18(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2017.09.12
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2014.09.10
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/10 申请日:20111026
法律状态公告日
2013.05.01
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京市德权律师事务所 11302
代理人姓名
刘丽君
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