| 基本信息 | |||
|---|---|---|---|
申请号 |
CN201210065168.1 | 申请日 |
2012.03.13 |
公开（公告）号
|
CN103311280A | 公开（公告）日
|
2013.09.18 |
申请（专利权）人
|
中国科学院微电子研究所
|
||
申请人地址
|
100083 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
发明人
|
朱慧珑;李春龙;罗军;钟汇才;梁擎擎;叶甜春; | 专利类型 | 发明专利 |
摘要
|
本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。根据一示例，半导体器件可以包括：沿第一方向延伸的鳍，鳍包括相对的第一端部和第二端部以及连接第一端部和第二端部的相对的第一侧面和第二侧面；沿与第一方向交叉的第二方向延伸且与鳍相交的栅电极；贯穿鳍和栅电极的通孔，通孔位于第一端部和第二端部之间，且位于第一侧面与第二侧面之间；源区和漏区，分别形成于鳍的第一端部和第二端部；形成于通孔中的导电接触部，该导电接触部与鳍电隔离，且与栅极电接触。 |
||
主权项
|
一种半导体器件，包括：沿第一方向延伸的鳍，鳍包括相对的第一端部和第二端部以及连接第一端部和第二端部的相对的第一侧面和第二侧面；沿与第一方向交叉的第二方向延伸且与鳍相交的栅电极；贯穿鳍和栅电极的通孔，通孔位于第一端部和第二端部之间，且位于第一侧面与第二侧面之间；源区和漏区，分别形成于鳍的第一端部和第二端部；形成于通孔中的导电接触部，该导电接触部与鳍电隔离，且与栅极电接触。 |
||
IPC信息 |
|||
|---|---|---|---|
|
IPC主分类号
|
H01L29/423(2006.01)I | ||
|
IPC分类号
|
H01L29/423(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | ||
|
|
|||
法律状态信息 |
|||||
|---|---|---|---|---|---|
法律状态公告日
|
2015.12.02 | 法律状态
|
授权 | 法律状态信息 | 授权 |
法律状态公告日
|
2013.10.23 | 法律状态
|
实质审查的生效 | 法律状态信息 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/423 申请日:20120313 |
法律状态公告日
|
2013.09.18 | 法律状态
|
公开 | 法律状态信息 | 公开 |
代理信息 |
|||
|---|---|---|---|
代理机构名称
|
中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人姓名
|
倪斌 |
相似专利
|
|
|---|---|
[发明专利] 短厘米波段双极化制冷接收机杜瓦
发明人:陈卯蒸;马军;奥特玛·劳赫纳;王凯;王娜 
| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |
版权：中国科学院 主办：中国科学院科技促进发展局 承办：中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12
建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器