专利名称 ---【 具有微流道结构的放电腔及气体激光器 】

基本信息
申请号
CN201210144445.8
申请日
2012.05.10
公开(公告)号
CN102842840A
公开(公告)日
2012.12.26
申请(专利权)人
中国科学院光电研究院
申请人地址
100094 北京市海淀区邓庄南路9号
发明人
刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器,该放电腔内具有放电电极和风机,所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动,从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板,所述微流道设置有所述导流板上,并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置,其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本发明通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构,从而防止了涡旋气流的产生,减少了放电电极侧面产生的位弧现象,增加了放电稳定性,提高了激光能量,延长了预电离电极寿命。
主权项
一种用于气体激光器的放电腔,该放电腔内具有放电电极和风机,所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动,从而形成一个主气流,在所述主气流的流道的两侧存在凹陷区,其特征在于,在所述主气流的流道两侧设置有微流道,所述微流道具有用于气体流入的入口和用于气体流出的出口,所述入口位于所述主气流的下游,所述出口朝向所述凹陷区。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01S3/036(2006.01)I
IPC分类号
H01S3/036(2006.01)I;H01S3/03(2006.01)I;H01S3/22(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2016.10.05
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利权的转移 IPC(主分类):H01S 3/036 登记生效日:20160908 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院光电研究院 变更后权利人:北京科益虹源光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100094 北京市海淀区邓庄南路9号 变更后权利人:100176 北京市亦庄经济技术开发区经海产业园10号楼
法律状态公告日
2014.09.17
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2013.02.13
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/036 申请日:20120510
法律状态公告日
2012.12.26
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
宋焰琴
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