| 基本信息 | |||
|---|---|---|---|
申请号 |
CN201210392511.3 | 申请日 |
2012.10.16 |
公开（公告）号
|
CN103730366A | 公开（公告）日
|
2014.04.16 |
申请（专利权）人
|
中国科学院微电子研究所
|
||
申请人地址
|
100029 北京市朝阳区北土城西路3# | ||
发明人
|
殷华湘;秦长亮;付作振;马小龙;陈大鹏; | 专利类型 | 发明专利 |
摘要
|
|||
主权项
|
一种堆叠纳米线MOS晶体管制作方法，包括：在衬底上形成沿第一方向延伸的多个鳍片；在每个鳍片中形成由多个纳米线构成的纳米线堆叠；在纳米线堆叠上形成沿第二方向延伸的栅极堆叠结构，栅极堆叠结构环绕包围纳米线堆叠；在栅极堆叠结构两侧形成源漏区，源漏区之间的纳米线构成沟道区。 |
||
IPC信息 |
|||
|---|---|---|---|
|
IPC主分类号
|
H01L21/336(2006.01)I | ||
|
IPC分类号
|
H01L21/336(2006.01)I | ||
|
|
|||
法律状态信息 |
|||||
|---|---|---|---|---|---|
法律状态公告日
|
2018.07.31 | 法律状态
|
授权 | 法律状态信息 | 授权 |
法律状态公告日
|
2015.07.01 | 法律状态
|
实质审查的生效 | 法律状态信息 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20121016 |
法律状态公告日
|
2014.04.16 | 法律状态
|
公开 | 法律状态信息 | 公开 |
代理信息 |
|||
|---|---|---|---|
代理机构名称
|
北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人姓名
|
陈红 |
相似文献
|
|
|---|---|
相似专利
|
|
多巴胺功能化的磁性纳米材料富集射干中的异黄酮类化合物
作者:廖循 
| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |
版权：中国科学院 主办：中国科学院科技促进发展局 承办：中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12
建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器