专利名称 ---【 用于光刻机的能量探测装置 】

基本信息
申请号
CN201410528137.4
申请日
20141009
公开(公告)号
CN104316172B
公开(公告)日
20150128
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800 上海市嘉定区上海800-211邮政信箱
发明人
谢承科;王莹;陈明;曾爱军;杨宝喜;黄惠杰 专利类型 发明专利
摘要
一种用于光刻机的能量探测装置,特点在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜、积分棒、探测器、探测器信号处理电路、信号采集卡和计算机,所述的积分棒位于所述的反射镜的焦平面,所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路的电流信号输入端,该探测器信号处理电路的输出端经所述的信号采集卡与所述的计算机的输入端连接。本发明采用反射镜将光路折转,可减小光刻机的整机高度。所述的探测器信号处理电路可对窄脉冲信号进行放大、积分和保持,降低了后续信号采集电路的要求,能有效消除信号采集过程中孔径抖动对测量结果的影响;不需从能量探测装置外部输入积分保持电路的同步信号,可有效隔离外部噪声信号,提高能量探测装置的抗干扰能力。
主权项
1.一种用于光刻机的能量探测装置,特征在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜(1)、积分棒(2)、探测器(3)、探测器信号处理电路(4)、信号采集卡(5)和计算机(6),所述的积分棒(2)的入射端面位于所述的反射镜(1)的焦平面,所述的探测器的输出端接所述的探测器信号处理电路(4)的电流信号输入端,该探测器信号处理电路(4)的输出端经所述的信号采集卡(5)与所述的计算机(6)的输入端连接;所述的探测器信号处理电路(4)包括前置放大电路、积分保持电路和控制逻辑电路:所述的前置放大电路由第一电阻(R1)、第一电容(C1)和第一运算放大器(U1)组成,第一运算放大器(U1)的同向输入端接地,反向输入端接所述的探测器(3)的电流信号输出端,所述的第一电阻(R1)和第一电容(C1)并联后连接在所述的第一运算放大器(U1)的反向输入端和输出端之间,将探测器输出的电流信号(I)转换成电压脉冲信号(Vo1);所述的积分保持电路由信号输入开关(S1)、信号放电开关(S2)、积分电容(C2)和第二运算放大器(U2)组成,所述的信号输入开关(S1)的一端接所述的第一运算放大器(U1)的输出端,另一端接第二运算放大器(U2)的反向输入端,控制端接同步信号产生电路的输出端,第二运算放大器(U2)的同向输入端接地,所述的信号放电开关(S2)和积分电容(C2)并联后接在第二运算放大器(U2)的反向输入端和输出端之间,所述的信号放电开关(S2)的控制端接第二时序产生电路的输出端;所述的控制逻辑电路由同步信号产生电路、第一时序产生电路和第二时序产生电路组成,所述的同步信号产生电路由电压比较器(U3)、+5V电源和可变电阻器(VAR1)组成,其中+5V电源和可变电阻器(VAR1)组成分压电路给同步信号产生电路提供参考电压信号(Vref);电压比较器(U3)的同相输入端连接所述的第一运算放大器(U1)的输出端,获得电压脉冲信号(Vo1),反向输入端接所述的可变电阻器(VAR1)的滑动抽头,提供参考电压信号(Vref),电压比较器(U3)的输出端接所述的信号输入开关(S1)的控制端和第一时序产生电路的第二触发输入端(B),电压脉冲信号(Vo1)和参考电压信号(Vref)经电压比较器(U3)得到脉 冲同步信号(V1);所述的第一时序产生电路由施密特触发器的第1个施密特触发器(U4A)、第三电容(C3)和第二电阻(R2)组成,第1个施密特触发器(U4A)的第一触发输入端(A)接地,数据清零端(CLR)连接+5V电源,外部电阻电容端(RXCX)同时连接第三电容(C3)和第二电阻(R2)的节点,外部电容端(CX)连接第三电容(C3)的另一端,第二电阻(R2)的另一端连接+5V电源,数据输出端(Q)连接第二时序产生电路的第一触发输入端(A),第二时序产生电路由施密特触发器的第2个施密特触发器(U4B)、第四电容(C4)和第三电阻(R3)组成,第2个施密特触发器(U4B)的第二触发输入端(B)和数据清零端(CLR)连接+5V电源,外部电阻电容端(RXCX)同时连接第四电容(C4)和第三电阻(R3)的节点,外部电容端(CX)连接第四电容(C4)的另一端,第三电阻(R3)的另一端连接+5V电源,数据输出端(Q)连接积分保持电路的信号放电开关(S2)的控制端。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01J1/42

 

法律状态信息
法律状态公告日
20150128
法律状态
公开 法律状态信息
CN201410528137 20150128 公开 公开
法律状态公告日
20150225
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201410528137 20150225 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 1/42申请日:20141009
法律状态公告日
20160921
法律状态
授权 法律状态信息
CN201410528137 20160921 授权 授权
法律状态公告日
20191022
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
CN201410528137 20191022 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移IPC(主分类):G01J 1/42登记生效日:20190926变更前 专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所 地址:201800 上海市嘉定区上海80

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司 31213
代理人姓名
张泽纯;张宁展


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