专利名称 ---【 单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器 】

基本信息
申请号
CN201511019962.2
申请日
2015.12.30
公开(公告)号
CN105428997A
公开(公告)日
2016.03.23
申请(专利权)人
中国科学院半导体研究所
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
发明人
潘碧玮;赵玲娟;陆丹;张莉萌; 专利类型 发明专利
摘要
一种单纵模且波长可调谐的多段式FP激光器,包括:衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层,其中在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面,形成一中间高、两边低的脊型波导结构,所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟;TiAu电极制作于所述脊型波导上方,覆盖整个凸起的脊型波导,该TiAu电极在所述隔离沟处整体断开,分为两段电极。本发明的多段式FP激光器采用复合腔选模机制,无需光栅制作就可实现单纵模且波长可调谐的激光输出,降低了工艺的复杂性,同时保证了成品率和出光功率。
主权项
一种单纵模且波长可调谐的多段式法布里?珀罗激光器,包括衬底和沿着所述衬底外延方向依次制作的外延层,其特征在于:在所述外延层的部分区域从p型盖层向下刻蚀至p型接触层下表面,形成一中间高、两边低的脊型波导结构,其中所述脊型波导中的p型接触层上形成有一隔离沟;TiAu电极,其制作于所述脊型波导上方,覆盖整个凸起脊型波导,所述TiAu电极在所述隔离沟处整体断开,分为两段电极;下电极,其制作于所述衬底下方。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01S5/06(2006.01)I
IPC分类号
H01S5/06(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2020.02.18
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2016.04.20
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):H01S 5/06
法律状态公告日
2016.03.23
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
宋焰琴

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间
SEA null CN102545045A UNIV ZHEJIANG 20120704
SEA null US2004136415A1 PARK SAHNG GI [KR], et al 20040715
SEA null US2010046562A1 DONEGAN JOHN F [IE], et al 20100225

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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