专利名称 ---【 激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法 】

基本信息
申请号
CN201610221179.2
申请日
20160411
公开(公告)号
CN105806479A
公开(公告)日
20160727
申请(专利权)人
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
发明人
段亚轩;李晶;陈永权;赵建科;刘尚阔;田留德;李坤;王涛;薛勋;赵怀学;潘亮; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种的激光远场焦斑高精度动态诊断装置及方法,旨在解决现有技术分辨率低、误差大的弊端。本发明包括依次设置在同一光路上的单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件、CCD探测器;还包括设置在分束镜反射光路上的参考积分球功率计,设置在反射镜反射光路上的测量积分球功率计,以及同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联的控制计算机。本发明可实现对不同口径大小的激光光束的远场焦斑诊断,具有精度高、测量结果置信度高、稳定性好的优点。
主权项
激光远场焦斑高精度动态诊断装置,包括单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、缩束/扩束系统、反射镜、CCD探测器和控制计算机;其特征在于:还包括取样镜、参考积分球功率计、测量积分球功率计、多通道二元光学元件;所述准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件以及CCD探测器依次设置在单模光纤激光器的输出光路上;所述参考积分球功率计设置在所述分束镜的反射光路上;所述测量积分球功率计设置在所述反射镜的反射光路上;所述控制计算机同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联;所述单模光纤激光器的光纤端面置于准直镜的焦点处,光纤芯径小于2.44λf/d,其中λ为单模光纤激光器输出激光的波长,f为所述准直镜的焦距,d为所述准直镜的出瞳尺寸;所述多通道二元光学元件位于所述缩束/扩束系统的出瞳位置,用于将缩束/扩束系统入瞳处的激光光束近场分割成一系列子孔径区域。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01J1/42

 

法律状态信息
法律状态公告日
20180529
法律状态
授权 法律状态信息
CN201610221179 20180529 授权 授权
法律状态公告日
20160824
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201610221179 20160824 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 1/42申请日:20160411
法律状态公告日
20160727
法律状态
公开 法律状态信息
CN201610221179 20160727 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人姓名
陈广民

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间
SEA null CN102768411A INST OPTICS & ELECT CN ACAD 20121107
SEA null CN104034416A XI AN OPTICS PRECISION MECH 20140910
SEA null CN105258922A NIPPON KOGAKU KK 20160120
SEA null CN205719248U XI'AN INST OF OPTICS AND PREC MECH OF CAS 20161123
SEA null JP2014081216A CANON KK 20140508
SEA null US6707020B1 PRAUS II ROBERT W [US], et al 20040316

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息


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