专利名称 ---【 基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法 】

基本信息
申请号
CN201611124553.3
申请日
2016.12.08
公开(公告)号
CN108181413A
公开(公告)日
2018.06.19
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
发明人
冯飞;李昕欣; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法,所述制备方法包括步骤:在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道,随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合,最后获得玻璃?硅?玻璃结构的双色谱柱芯片;或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道,随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合,最后获得硅?玻璃?硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时,只需一个本发明所提供的双面键合的微色谱柱芯片,具有便于安装,节省材料成本等诸多优点,在微电子机械系统领域尤其是色谱分析领域具有广泛的应用前景。
主权项
1.一种微色谱柱,其特征在于:包括:一硅衬底,所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道;两键合片,分别键合于所述硅衬底的正面及反面,形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01N30/60(2006.01)I
IPC分类号
G01N30/60(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.07.13
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 30/60 申请日:20161208
法律状态公告日
2018.06.19
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人姓名
罗泳文
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