专利名称 ---【 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 】

基本信息
申请号
CN201710824969.4
申请日
2017.09.14
公开(公告)号
CN107620038A
公开(公告)日
2018.01.23
申请(专利权)人
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址
230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号
发明人
孔明光;吴兵;刘玲
专利类型
发明专利
摘要
本发明提供一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法,属于纳米电化学技术领域,包括以下步骤:S1、选取离子溅射仪,安放在载样台上,矫正离子溅射仪;S2、以聚苯乙烯小球作为模板,以金属靶材为初始材料,将聚苯乙烯小球置于载样台上,旋转载样台,然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面;S3、将蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热,升温至600?700℃保温,即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列;S4、溶解聚苯乙烯小球,即得到金属纳米颗粒有序阵列。该纳米金属颗粒阵列结构通过溅射旋转状态下的聚苯乙烯小球,以达到在聚苯乙烯小球表面镀膜的纳米颗粒阵列结构间距在20nm以下进行调整。
主权项
一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、选取一台离子溅射仪,安放在载样台上,矫正离子溅射仪,并对离子溅射仪进行抽真空操作;S2、以聚苯乙烯小球作为模板,以金属靶材为初始材料,将聚苯乙烯小球置于载样台上,旋转载样台,降低离子溅射仪内的真空度,并向离子溅射仪中通入保护气体,然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面;S3、将S2蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热,升温至600?700℃,并在此温度下保温40?50min,即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列;S4、溶解聚苯乙烯小球,即得到金属纳米颗粒有序阵列。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C14/20(2006.01)I
IPC分类号
C23C14/20(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/46(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.02.16
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/20 申请日:20170914
法律状态公告日
2018.01.23
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京旭路知识产权代理有限公司 11567
代理人姓名
王莹
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