专利名称 ---【 利用离子溅射法制备检测基板膜的方法 】

基本信息
申请号
CN201710824974.5
申请日
2017.09.14
公开(公告)号
CN107620036A
公开(公告)日
2018.01.23
申请(专利权)人
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址
230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号
发明人
孔明光;吴兵;刘玲; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种利用离子溅射法制备检测基板膜的方法,属于颗粒膜制备技术领域,包括:1)将检测基板表面进行酸洗,作为基片;2)对离子溅射仪进行矫正,预设目标银颗粒膜粒径;3)采用离子溅射的方法以银靶材为初始材料,在基片衬底上蒸镀银颗粒膜,设置初始蒸镀时间,确定基片上实际银颗粒膜粒径;4)判定若实际银颗粒膜粒径小于目标银颗粒膜粒径,执行步骤5),否则执行步骤6);5)在初始蒸镀时间基础上增加蒸镀时间,重新蒸镀银靶材,并测定实际银颗粒膜粒径,并重复步骤4);6)判定银颗粒膜是否合格。该离子溅射法根据银颗粒膜在不同的蒸镀时间下测定银颗粒的峰位,从而确定精准的银颗粒膜粒径,以便提高检测基板膜检测的准确性。
主权项
一种利用离子溅射法制备检测基板膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:1)将检测基板表面进行酸洗,作为基片;2)对离子溅射仪进行抽真空高压放电检测、矫正,预设目标银颗粒膜粒径D;3)在恒定电流下,以银靶材为初始材料,在基片衬底上蒸镀银颗粒膜,设置初始蒸镀时间为t0,确定基片上银颗粒膜粒径为d;4)判定实际银颗粒膜粒径是否小于目标银颗粒膜粒径D,若是则执行步骤5),否则执行步骤6);5)继续增加蒸镀时间为Δt,重新确定实际银颗粒膜粒径d,并重复步骤3);6)若实际银颗粒膜粒径d大于目标银颗粒膜粒径D,则判定银颗粒膜不合格,结束命令;若实际银颗粒膜粒径d等于目标银颗粒膜粒径D,则判定银颗粒膜合格,结束命令。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C14/18(2006.01)I
IPC分类号
C23C14/18(2006.01)I;C23C14/46(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.02.16
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/18 申请日:20170914
法律状态公告日
2018.01.23
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京旭路知识产权代理有限公司 11567
代理人姓名
王莹
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