专利名称 ---【 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法 】

基本信息
申请号
CN201810247425.0
申请日
20180323
公开(公告)号
CN108955905B
公开(公告)日
20181207
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800 上海市嘉定区清河路390号
发明人
彭常哲;唐锋;王向朝;冯鹏;李鹏;严焱; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种基于圆形透光区域改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法。该波前传感器包括衍射元件、探测器,其中,衍射元件是由棋盘型相位光栅与透光区域为圆形的振幅光栅所组成的混合光栅,在用于四波前剪切干涉时,具有比目前广泛使用的改进型哈特曼掩模(Modified Hartmann Mask,MHM)更好的衍射频谱特性,即更高的±1级衍射效率,从而进一步降低差分波前提取过程中的系统误差,提升测量精度;通过适当选择振幅光栅的量化因子,可以在保证衍射效率的前提下简化光栅结构,降低元器件的加工难度。该装置可用于高精度波前检测领域。
主权项
1.一种基于哈特曼掩模的波前传感器,其特征在于,包括沿被测波前传输方向依次放置的衍射光学元件和二维光电探测器,所述的衍射光学元件是在正交方向上同周期的二维光栅结构,由周期为T、透光区域为圆形的振幅光栅,和周期为2T、在中心波长下相位梯度为π的棋盘型相位光栅混合组成;以所述的透光区域为圆形的振幅光栅的圆心为坐标原点建立平面直角坐标系,将圆形均分在四个象限中,每个象限中的1/4圆均由N个矩形拼接而成,N≥2;在平面直角坐标系下的圆形的振幅光栅的振幅透过率具有如下形式:其中circ( )为圆域函数,δ()为狄拉克delta函数,圆形的振幅光栅透光区域的半径大小a为方程 的第一个非零根,其中J1为一阶第一类Bessel函数;所述的棋盘型相位光栅的振幅透过率满足如下形式:其中rect( )为矩形函数,j=1,2…N,

 

IPC信息
IPC主分类号
G01J9/02

 

法律状态信息
法律状态公告日
20181207
法律状态
公开 法律状态信息
CN201810247425 20181207 公开 公开
法律状态公告日
20190101
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201810247425 20190101 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 9/02
法律状态公告日
20201016
法律状态
授权 法律状态信息
CN201810247425 20201016 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人姓名
张宁展


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