专利名称 ---【 基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法 】

基本信息
申请号
CN201810454924.7
申请日
2018.05.11
公开(公告)号
CN108516518A
公开(公告)日
2018.09.11
申请(专利权)人
中国科学院电子学研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区北四环西路19号
发明人
陈德勇;鲁毓岚;王军波;侍小青;谢波; 专利类型 发明专利
摘要
一种基于压阻检测的谐振式压力传感器及其制备方法,该谐振式压力传感器包括压力敏感膜、位于压力敏感膜上的谐振器和六个锚点,该谐振器包括双端固支梁和位于双端固支梁两侧的两个驱动电极,其中该双端固支梁包括两端部和连接至该两端部的两根单梁,通过对称地在该两根单梁的根部区域进行刻蚀,在该两根单梁的根部形成体压阻,在该两端部形成相同的三电极结构,其中一个三电极结构悬空,另一个三电极结构以中间位置的电极作为接地端,以两侧位置的电极作为检测电极;该六个锚点分别位于两个三电极结构下方,将该双端固支梁固支于压力敏感膜上。本发明采用压阻检测及谐振器音叉振动方式,提高了输出信号强度,增强了抗干扰能力和稳定性。
主权项
1.一种基于压阻检测的谐振式压力传感器,包括在SOI片上集成的传感器本体,其包括:压力敏感膜,由SOI片的基底层形成;谐振器,由SOI片的器件层形成,位于所述压力敏感膜上方,该谐振器包括:双端固支梁,包括两端部和连接至该两端部的两根单梁,通过对称地在该两根单梁的根部区域进行刻蚀,在该两根单梁的根部形成体压阻,在该两端部形成相同的三电极结构,其中:一端部的三电极结构悬空,另一端部的三电极结构以中间位置的电极作为接地端,以两侧位置的电极作为检测电极;以及两个驱动电极,分别位于所述双端固支梁的两侧,在该两个驱动电极上施加直流、交流驱动电压,以静电力驱动该双端固支梁发生音叉振动,其中,所述接地端和两个检测电极能够连接至电阻/电压检测电路以测量所述体压阻上的电阻/电压随该音叉振动而产生的变化;以及六个锚点,由SOI片的绝缘层形成,分别位于所述双端固支梁的两端部的三电极结构下方,将所述双端固支梁固支于所述压力敏感膜上。

 

IPC信息
IPC主分类号
B81B3/00(2006.01)I
IPC分类号
B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L1/22(2006.01)I;G01L9/04(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.10.09
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20180511
法律状态公告日
2018.09.11
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
喻颖
相似文献

基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
作者:赵全斌 发表刊物:传感技术学报

相似专利

[发明专利] 自激励自检测探针及其制作方法
发明人:杨晋玲;刘晓晨;朱银芳;张金英;杨富华 申请日:2017-12-20

[发明专利] 一种卷烟烟支分段吸阻的测量方法
发明人:王乐;张明建;赵树弥;李斌;李志刚;张柯;鲁端峰;孙淼;张龙;王兵 申请日:2017-05-24

[发明专利] 基于最优化迭代方法的注入电流式热声电阻率图像重建方法
发明人:李艳红;刘国强;夏正武;杨延菊;夏慧;李士强 申请日:2017-02-20

[发明专利] 压力传感器及其制备方法
发明人:胡友根;赵涛;朱朋莉;张愿;朱玉;梁先文;孙蓉 申请日:2016-12-28

[实用新型] 压力传感器
发明人:胡友根;赵涛;朱朋莉;张愿;朱玉;梁先文;孙蓉 申请日:2016-12-28

相似科技成果

曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法
主题词:[] 单位名称:中科院上海微系统与信息技术研究所

一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器
主题词:[] 单位名称:中科院上海微系统与信息技术研究所

高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究
主题词:[微电子机械系统;微机械传感器;高冲击加速度] 单位名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所

飞机恒速传动装置、集成驱动发电机测试设备
主题词:[恒速传动装置;集成驱动发电机;测试设备] 单位名称:中国科学院光电技术研究所

点击次数: 123      分享到:0


| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |

版权:中国科学院 主办:中国科学院科技促进发展局 承办:中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12

建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器