专利名称 ---【 一种ZnMgO紫外探测器 】

基本信息
申请号
CN201810763326.8
申请日
20180712
公开(公告)号
CN108922930B
公开(公告)日
20181130
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
陈星;刘可为;李炳辉;张振中;申德振; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种ZnMgO紫外探测器,包括:ZnMgO薄膜层;所述ZnMgO薄膜层的晶体结构为立方相;所述ZnMgO薄膜层按照以下方法制备:以有机锌化合物作为锌源,有机镁化合物作为镁源,在通入氧气的金属有机化合物化学气相沉积设备中生长ZnMgO薄膜层。与现有技术相比,本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnMgO薄膜,其气流与衬底平行,且生长温度较低,使制备得到的ZnMgO薄膜层具有结晶质量高,不出现分相,吸收截至边陡峭等特点,进而使包含ZnMgO薄膜层的紫外探测器具有较好的光效应能力,无需调解ZnMgO薄膜层的光吸收截止边即可调节器件的光响应截止边,而且制备工艺简单,反应过程容易控制。
主权项
1.一种ZnMgO紫外探测器,其特征在于,包括:ZnMgO薄膜层;所述ZnMgO薄膜层的晶体结构为立方相;所述ZnMgO薄膜层按照以下方法制备:以有机锌化合物作为锌源,有机镁化合物作为镁源,在通入氧气的金属有机化合物化学气相沉积设备中生长ZnMgO薄膜层;所述ZnMgO薄膜层中Mg的摩尔百分数为Zn与Mg的摩尔选为(1~4):(9~6);所述ZnMgO薄膜层的吸收截止边为220~240nm;所述ZnMgO薄膜层的厚度为100~600nm;所述ZnMgO紫外探测器的光响应截止边为275~350nm;所述有机锌化合物以第一保护气体作为载气;所述第一保护气体的流速为15ml/min;所述有机镁化合物以第二保护气体作为载体;所述第二保护气体的流速为30~80ml/min;所述氧气的流速为150~1850ml/min;所述生长的温度为450℃;所述生长的时间为0.5~5h;所述生长的真空度为1×104Pa;生长结束后,降温至室温,得到ZnMgO薄膜;所述降温的速率为5℃/min;所述有机锌化合物为二乙基锌和/或二甲基锌;所述有机镁化合物为二甲基二茂镁和/或二茂镁;固定其他参数,仅调节氧气流量,得到光吸收截止边相同,光相应截止边不同的ZnMgO薄膜层。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L31/0296

 

法律状态信息
法律状态公告日
20181130
法律状态
授权 法律状态信息
CN201810763326 20200512 授权 授权
法律状态公告日
20181225
法律状态
公开 法律状态信息
CN201810763326 20181130 公开 公开
法律状态公告日
20200512
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201810763326 20181225 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/0296

 

代理信息
代理机构名称
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人姓名
张雪娇;赵青朵

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息


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