专利名称 ---【 一种ZnMgO紫外探测器 】

基本信息
申请号
CN201810763326.8
申请日
2018.07.12
公开(公告)号
CN108922930A
公开(公告)日
2018.11.30
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
陈星;刘可为;李炳辉;张振中;申德振; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种ZnMgO紫外探测器,包括:ZnMgO薄膜层;所述ZnMgO薄膜层的晶体结构为立方相;所述ZnMgO薄膜层按照以下方法制备:以有机锌化合物作为锌源,有机镁化合物作为镁源,在通入氧气的金属有机化合物化学气相沉积设备中生长ZnMgO薄膜层。与现有技术相比,本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnMgO薄膜,其气流与衬底平行,且生长温度较低,使制备得到的ZnMgO薄膜层具有结晶质量高,不出现分相,吸收截至边陡峭等特点,进而使包含ZnMgO薄膜层的紫外探测器具有较好的光效应能力,无需调解ZnMgO薄膜层的光吸收截止边即可调节器件的光响应截止边,而且制备工艺简单,反应过程容易控制。
主权项
1.一种ZnMgO紫外探测器,其特征在于,包括:ZnMgO薄膜层;所述ZnMgO薄膜层的晶体结构为立方相;所述ZnMgO薄膜层按照以下方法制备:以有机锌化合物作为锌源,有机镁化合物作为镁源,在通入氧气的金属有机化合物化学气相沉积设备中生长ZnMgO薄膜层。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L31/0296(2006.01)I
IPC分类号
H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/036(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.12.25
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0296 申请日:20180712
法律状态公告日
2018.11.30
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人姓名
张雪娇;赵青朵

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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