专利名称 ---【 一种光学检测系统和光学检测方法 】

基本信息
申请号
CN201811440899.3
申请日
20181129
公开(公告)号
CN109540005B
公开(公告)日
20190329
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所;深圳中科飞测科技有限公司
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号中国科学院微电子研究所
发明人
路鑫超;刘虹遥;陈鲁;杨乐;马砚忠;张朝前;孙旭晴;江丽雯; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种光学检测系统和光学检测方法,孔径限制单元用于对光收集单元出射的第二光的孔径进行限制;空间滤波单元用于在对特定结构进行检测时,进入孔径限制单元的出射光路,对孔径限制单元出射的第二光的孔径进行限制,在不对特定结构进行检测时,移出孔径限制单元的出射光路;测量单元用于根据孔径限制单元出射的第二光,获得待测区域内其他结构的结构信息,根据空间滤波单元出射的第二光,获得待测区域内特定结构的结构信息。本发明通过孔径限制单元和空间滤波单元有效滤除了第二光中的杂散光,实现了高深宽比结构等特定结构的测量。
主权项
1.一种光学检测系统,其特征在于,包括光发射单元、光收集单元、成像单元、处理单元、孔径限制单元、空间滤波单元和测量单元;所述光发射单元用于发射光线,以使所述光线照射到待测样品上,被所述待测样品反射形成反射光;所述光收集单元用于收集所述反射光,并将所述反射光分成第一光和第二光;所述成像单元用于根据所述第一光,获得所述待测样品的图像以及所述待测样品的任一待测区域的图像;所述处理单元用于对所述待测样品的图像进行识别,提取所述待测样品的图像中各个区域的特征信息,并根据所述区域的特征信息判断所述区域是否为待测区域,若是,获取所述待测区域的位置信息,对任一所述待测区域的图像进行识别,提取所述待测区域的图像中各个结构的特征信息,并根据所述结构的特征信息判断所述结构是否为待测的特定结构,若是,获取所述特定结构的位置信息,根据所有的待测区域的位置信息生成第一检测路径,根据任一所述待测区域中所有的特定结构的位置信息生成第二检测路径,并控制所述待测样品进行相应移动;所述孔径限制单元包括第一光阑,用于对所述光收集单元出射的所述第二光的孔径进行限制;所述空间滤波单元包括第二光阑、第一透镜组和第二透镜组,所述第一透镜组和所述第二透镜组中都包括至少一个傅里叶透镜;所述第一透镜组位于所述第一光阑和所述第二光阑之间;所述第二透镜组位于所述第二光阑和所述测量单元之间;用于在对所述特定结构进行检测时,进入所述孔径限制单元的出射光路,对所述孔径限制单元出射的第二光进行空间滤波,在不对所述特定结构进行检测时,移出所述孔径限制单元的出射光路;所述测量单元用于根据所述孔径限制单元出射的第二光,获得所述待测区域内其他结构的结构信息,根据所述空间滤波单元出射的第二光,获得所述待测区域内特定结构的结构信息,所述结构信息包括膜厚信息。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B11/06

 

法律状态信息
法律状态公告日
20190329
法律状态
公开 法律状态信息
CN201811440899 20190329 公开 公开
法律状态公告日
20190423
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201811440899 20190423 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06
法律状态公告日
20210212
法律状态
授权 法律状态信息
CN201811440899 20210212 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人姓名
王宝筠


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