专利名称 ---【 一种多通道法布里-珀罗滤光片及其制备方法 】

基本信息
申请号
CN201811605926.8
申请日
20181226
公开(公告)号
CN109655955A
公开(公告)日
20190419
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
杨海贵;高劲松;王笑夷;李资政;刘海;王延超; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种多通道法布里‑珀罗滤光片及其制备方法,在多通道法布里‑珀罗滤光片制备过程中,采用聚焦离子束刻蚀的方法而达到仅需一次刻蚀就能集成多个通道。聚焦离子束刻蚀为计算机控制下的无掩膜刻蚀方法,可以直接对于高光谱滤光片不同位置的法布里‑珀罗腔层进行不同时间的刻蚀,从而利用单个刻蚀工艺实现多个通道的腔长长度的调节。
主权项
1.一种多通道法布里-珀罗滤光片的制备方法,其特征在于,所述滤光片的制备方法包括以下步骤:S1:提供一基底,在所述基底上形成第一膜系;S2:在所述第一膜系上形成法布里-珀罗腔层,采用聚焦离子束对所述法布里-珀罗腔层进行刻蚀,以形成多个具有不同厚度的法布里-珀罗腔;S3:在所述法布里-珀罗腔上形成第二膜系,以形成多通道法布里-珀罗滤光片。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02B5/28

 

法律状态信息
法律状态公告日
20190514
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201811605926 20190514 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/28
法律状态公告日
20190419
法律状态
公开 法律状态信息
CN201811605926 20190419 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人姓名
吴乃壮

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息


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