专利名称 ---【 一种柔性自支撑ZnO紫外探测器及其制备方法 】

基本信息
申请号
CN202010039582.X
申请日
20200115
公开(公告)号
CN111244201B
公开(公告)日
20200605
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
刘可为;郑智遥;陈星;申德振;张振中;李炳辉 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种柔性自支撑ZnO紫外探测器,属于紫外探测技术领域,包括:四足状ZnO纳米结构层、设置于所述四足状ZnO纳米结构层表面的两个电极及柔性衬底;所述四足状ZnO纳米结构层独立存在实现自支撑,通过转移置于所述柔性衬底上。本发明还提供了一种柔性自支撑ZnO紫外探测器的制备方法。本发明的紫外探测器采用四足状ZnO纳米结构层,具有特殊的四足状结构,以四根纳米线为一个单元,堆叠成絮状自支撑结构,简单且高效地获得响应速度快的柔性紫外探测器;四足状ZnO纳米结构层结晶质量高、性能优异,光暗抑制比高,响应速度快,可应用于柔性紫外探测器的制造,有效解决现有ZnO微纳结构柔性紫外探测器中衬底不耐高温的问题。
主权项
1.一种柔性自支撑ZnO紫外探测器,其特征在于,包括:四足状ZnO纳米结构层、设置于所述四足状ZnO纳米结构层表面的两个电极及柔性衬底;所述四足状ZnO纳米结构层独立存在实现自支撑,通过转移置于所述柔性衬底上;所述四足状ZnO纳米结构层,以四根纳米线为一个单元,每个结构单元紧密连接;所述四足状ZnO纳米结构层的厚度为50~1000μm;其中,四足状ZnO纳米结构的四足直径为50~100nm,四足长度为2~5μm;所述四足状ZnO纳米结构层的制备步骤如下:S10:将ZnO粉末与石墨粉末按照1:1的质量比研磨混合均匀,之后置于化学气相沉积设备中作为生长源;S11:在惰性气体保护下对化学气相沉积设备进行升温,升温控制参数为:49min~51min从室温升至1000℃,29min~31min从1000℃升至1130℃~1150℃;当温度上升至1000℃通入氧气,控制氧气流量为15~20sccm;S12:在1130℃~1150℃温度下保温59min~61min,用于生长沉积四足状ZnO纳米结构;S13:沉积完成后降温至室温,用镊子直接分离取出即得述四足状ZnO纳米结构层。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L31/0296

 

法律状态信息
法律状态公告日
20200605
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010039582 20200605 公开 公开
法律状态公告日
20200630
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN202010039582 20200630 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0296
法律状态公告日
20211217
法律状态
授权 法律状态信息
CN202010039582 20211217 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人姓名
曹卫良


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