专利名称 ---【 激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法 】

基本信息
申请号
CN202010625999.4
申请日
20200701
公开(公告)号
CN111780721A
公开(公告)日
20201016
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800 上海市嘉定区清河路390号
发明人
何兵;刘美忠;杨依枫;王汉斌;李炳霖;咸昱桥;邹星星; 专利类型 发明专利
摘要
一种激光分束器栅线垂直度检测装置及检测方法,装置包括激光光源、分束镜、反射镜、缩束器、待检测激光分束器、成像系统和图像探测系统。本发明将激光光源分束成检测光和参考光,两束光共同入射待检测激光分束器,可将栅线垂直度情况转换成两束光各自衍射光束组的倾斜图像。通过比较和计算图像探测系统上两束光各自衍射光束组的相对位置,可实现栅线垂直度的非接触式快速检测,并且可进一步计算该垂直度,为激光分束器的制造修正系统提供参考。
主权项
1.一种激光分束器栅线垂直度检测装置,其特征在于,包括激光光源(101)、分束镜(102)、反射镜(103)、缩束器(106)、成像系统(110)和图像探测系统(111);所述的激光光源(101)发射准直的单频激光,经所述的分束镜(102)分束成强度相近的透射光(104)和反射光(105),所述的透射光作为检测光入射到缩束器(106),所述的反射光作为参考光,经反射镜(103)反射后,入射到缩束器(106);沿缩束器(106)的输出光传播方向同光轴依次放置待检测激光分束器(107)、成像系统(110)和图像探测系统(111);所述的待检测激光分束器(107)的表面与所述的参考光和检测光所构成的平面平行;所述的图像探测系统(111)放置在成像系统(110)的像点位置。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01C9/00

 

法律状态信息
法律状态公告日
20201016
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010625999 20201016 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人姓名
张宁展


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