专利名称 ---【 二氧化硅增透膜的制备方法 】

基本信息
申请号
CN97106405.9
申请日
19970429
公开(公告)号
CN1059276C
公开(公告)日
19981104
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱李兰英
发明人
朱从善;汤加苗; 专利类型 发明专利
摘要
一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成用于增透膜的二氧化硅膜层。制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统的加热炉中的加热管内,加热管内通入氨气,并对加热管缓慢升温,升高温度T〉200℃时再保温一定时间后逐渐降到室温。经过本发明的碱性高温强化处理的二氧化硅膜层与基片的结合力强,能够经受较大强度的擦洗,并能承受高温或强光的辐射。
主权项
1.一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成作为增透膜的二氧化硅膜层,其特征在于制成的二氧化硅膜层经过碱性高温强化处理,具体的做法是将制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统(4)的加热炉(2)中的加热管(1)内,向加热管(1)内通入氨气,并缓慢升高加热管(1)的温度T,升温时间t1>1小时,当加热管(1)内的温度T>200℃时,保温时间t2>1小时后,逐渐冷却至室温。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02B1/10

 

法律状态信息
法律状态公告日
19980603
法律状态
实质审查请求的生效 法律状态信息
CN97106405 19980603 实质审查请求的生效
法律状态公告日
19981104
法律状态
公开 法律状态信息
CN97106405 19981104 公开 公开
法律状态公告日
20001206
法律状态
授权 法律状态信息
CN97106405 20001206 授权 授权
法律状态公告日
20050629
法律状态
专利权的终止未缴年费专利权终止 法律状态信息
CN97106405 20050629 专利权的终止未缴年费专利权终止

 

代理信息
代理机构名称
上海华东专利事务所
代理人姓名
李兰英


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