金春水

金春水    

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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[发明专利] 一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置 - CN103018205A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2012.12.06 主分类号:G01N21/47(2006.01)I

本发明涉及一种ArF激光光学薄膜角度散射测量装置,包括:用于产生测量激光的ArF准分子激光器;在测量激光的光路上依次设有ArF准分子激光扩束准直装置,可变光阑,偏振光起偏器和分束器;测量激光经

[发明专利] 一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法 - CN103047928A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2012.12.21 主分类号:G01B9/02(2006.01)I

一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域,该方法包括如下步骤:测试过程中引入一定的倾斜量,多次测量结果的平均值作为参考值,取其中一次测试结果减去参考值,获得其中一次测试结

[发明专利] 大口径高精度超光滑非球面制备方法 - CN1542161

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2003.10.08 主分类号:C23C14/34

本发明涉及非球面加工技术。要解决大口径高精 度超光滑非球面加工非常困难,而且加工周期长、成本较高的 问题。本发明在溅射功率及工作气体压强一定的条件下,首先 对靶材的沉积速率进行定标,再根据球面

[发明专利] 一种纳米级多层膜结构的测量方法 - CN101206112

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2007.12.20 主分类号:G01B15/02(2006.01)I

本发明属于光学测量技术领域,是一种纳米级多层膜结构的测量方法。 本发明首先建立周期内四层结构模型,然后测量多层膜的X射线掠入射反 射率R’,根据多层膜的详细结构模型计算其X射线掠入射反射率R,

[发明专利] 一种提高极紫外光谱纯度的新型多层膜 - CN102798902A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2012.07.23 主分类号:G02B1/10(2006.01)I

一种提高极紫外光谱纯度的新型多层膜属于极紫外光刻领域,该多层膜在保证13.5nm处的反射率损失不大的前提下,使带外波段的反射率得到有效的抑制。一种提高极紫外光谱纯度的新型多层膜,该多层膜包括:

[发明专利] 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 - CN102368113A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.10.31 主分类号:G02B27/62(2006.01)I

一种高精度光学元件装配工具及无应力装配方法,涉及高精度光学元件精密装调技术领域,它解决现有光学元件的装配过程中采用柔性支撑结构容易产生附加内应力,并且装配后接触副之间存在残余摩擦力而影响光学元

[发明专利] 大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置 - CN103033341A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2012.12.11 主分类号:G01M11/02(2006.01)I

大测试角度ArF激光偏振光学薄膜元件光谱测试装置,属于深紫外波段偏振光学薄膜元件光谱检测技术领域,从左到右依次设置ArF激光光源、ArF激光扩束准直镜、可变光阑、起偏器、分束器,分束器将光分为

[发明专利] 一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法 - CN102980748A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2012.12.06 主分类号:G01M11/02(2006.01)I

本发明涉及一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法,包括以下步骤:对薄膜进行透过率和反射率光谱测量,得到光谱测量数据;对薄膜进行变角度的椭圆偏振测量,得到椭偏参数;将光谱数据和椭偏参数拟合,配合

[发明专利] 一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜 - CN103091744A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2013.01.30 主分类号:G02B5/08(2006.01)I

一种提高极紫外光谱纯度及热稳定性的新型多层膜,属于极紫外光刻领域,该新型多层膜为在基底上依次镀制Si层和Mo层交替的周期性多层膜,还包括热稳定层,所述热稳定层制作在Si层和Mo层交替的周期性多

[实用新型] 高精度大型恒温控制系统 - CN202221536U

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.08.17 主分类号:G05D23/01(2006.01)I

高精度大型恒温控制系统,涉及恒温控制技术领域,它解决现有恒温控制系统无法满足点衍射干涉仪使用要求的问题,该系统包括恒温室、恒温控制门和恒温控制液体循环装置,所述恒温室由多块壁板组成;所述壁板内
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