徐文祥

徐文祥    

中国科学院光电技术研究所

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[发明专利] 一种动镜微调整方法 - CN102621651A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.03.29 主分类号:G02B7/00(2006.01)I

本发明是一种动镜微调整方法,它包括三个压电陶瓷驱动点,三个电容传感器探测点,动镜的解耦算法;该方法根据压电陶瓷驱动点的位置,电容传感器探测点的位置,经过推导得出动镜的解耦算法,从而给出驱动点应

[发明专利] 一种投影光刻机的硅片台对准机构 - CN102566316A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.02.07 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种投影光刻机的硅片台对准机构,它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副、光孔、传动杆、楔块、导轨副、导轨;调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上,调节螺栓的前端为球型,楔块位

[发明专利] 一种光刻机真空曝光装置 - CN102012642A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.27 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种光刻机真空曝光装置,包括:掩模台、掩模板、硅片、密封胶圈、承片台、两个气嘴、柔性铰链、升降台、第一气嘴和真空气嘴;掩模板放在掩模台上,硅片放在承片台上,密封胶圈套在承片台的外侧,承

[发明专利] 一种投影光刻机的硅片台微旋转机构 - CN102087485A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.30 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构,它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副;调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上,调节螺栓的前端为球型,拉簧的左端套在硅片台上,拉簧的右端挂

[发明专利] 一种光刻机掩模刀口移动装置 - CN101887218A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.06.09 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

一种光刻机掩模刀口移动装置,采用双层单元、两组独立组件结构,由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成,X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动,Y向狭缝刀口移动装置实现Y方

[发明专利] 一种双变密度盘的可变衰减器 - CN102096189A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.27 主分类号:G02B26/08(2006.01)I

本发明是一种双变密度盘的可变衰减器,该装置包括第一变密度盘、第二变密度盘、第一伺服电机、第二伺服电机、第一编码器、第二编码器、第一限位开关和第二限位开关,第一电机轴和第二电机轴,利用电机和编码

[发明专利] 一种投影光刻机中的光束稳定装置 - CN101963765A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2009.09.14 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

一种投影光刻机中的光束稳定装置,它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正,保证了光刻系统的成像及光刻质量。

[发明专利] 一种用于光刻设备中的光束稳定装置 - CN102103329A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.06 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种光刻设备中的光束稳定装置,是光刻设备的照明单元中稳定照明光束的位置和指向角度的装置,所述光束稳定装置包括一个光束稳定探测装置和光束稳定调节装置,光束稳定探测装置和光束稳定调节装置位

[发明专利] 用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法 - CN103983573A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2014.05.22 主分类号:G01N21/00(2006.01)I

本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法,包括:扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动,Y向电机在Y轴向上做间歇步进,生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点,Y向电机停止;X向电机带动扫描台在X轴向

[发明专利] 一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统 - CN108459471A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2018.03.20 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明公开了一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统,该控制系统通过通讯接口接收上位机发送的指令和数据,通过解析和坐标变换后,控制动镜进行五自由度动镜在线调整,对投影光刻机中由物镜加工误差
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合作学者

胡淘   合作次数:5

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王建   合作次数:4

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赵立新   合作次数:4

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邢薇   合作次数:7

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胡松   合作次数:8

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