王丽萍

王丽萍    

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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[发明专利] 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 - CN102368113A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.10.31 主分类号:G02B27/62(2006.01)I

一种高精度光学元件装配工具及无应力装配方法,涉及高精度光学元件精密装调技术领域,它解决现有光学元件的装配过程中采用柔性支撑结构容易产生附加内应力,并且装配后接触副之间存在残余摩擦力而影响光学元

[发明专利] 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 - CN102297725A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.05.18 主分类号:G01J9/02(2006.01)I

可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法,本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域,克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制,能够实现波前的高精度检测。光路包括:一束入射会聚光波

[发明专利] 光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法 - CN102261985A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.06.13 主分类号:G01M11/02(2006.01)I

光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法,涉及光学测量技术领域,它解决现有光学系统在检测光学元件之前无法评价其测试误差是否满足检测精度要求以及选择合适的移相算法对采集的数据进行处理的问

[发明专利] 一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法 - CN102385082A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.10.31 主分类号:G02B5/09(2006.01)I

一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法,涉及EUV光刻技术领域,它解决现有复眼反射镜采用紧密拼接实现单块反射镜位置精度的方法适用于反射镜数量较少情况,并且当反射镜的数量增加时存在单块反射镜

[发明专利] 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 - CN102506752A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.10.31 主分类号:G01B11/24(2006.01)I

一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置,属于高精度光学元件干涉检测技术领域,该装置包括镜体组件,所述镜体组件包括:被测物、夹片和支撑球,所述被测物固定在夹片和支撑球中间,该装置还包括:支撑组

[发明专利] 光学系统波像差检测装置 - CN102289152A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2011.05.18 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

光学系统波像差检测装置,涉及光学测量技术领域,它解决现有光学系统波像差检测装置在移相过程中存在偏摆误差和横移误差的问题,本发明的分光系统出射的两束共光路的正交线偏振光经过第二偏振分光棱镜分光,

[发明专利] 双谱段电晕探测折反射全景光学系统 - CN101710208

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2009.11.24 主分类号:G02B17/08(2006.01)I

本发明涉及电晕探测技术的光学系统,是一种特别适用于240nm~280nm紫外谱段及460nm~610nm可见光谱段的双谱段电晕探测折反射全景光学系统,包括敷有反射紫外光分光膜的紫外/可见光分束

[发明专利] 一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法 - CN103226241A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2013.04.22 主分类号:G02B27/00(2006.01)I

本发明提供一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法,属于光学设计领域,解决了现有光学设计软件中对光学薄膜的处理方式无法对添加光学薄膜的光学系统的成像质量做出合理预估,导致按设计加工所得光学系

[发明专利] 高复现性光学元件面形检测支撑装置 - CN103968796A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2014.05.05 主分类号:G01B21/20(2006.01)I

高复现性光学元件面形检测支撑装置,属于光学元件干涉检测技术领域。解决了现有技术中检测支撑装置和光学元件间存在接触副摩擦力,导致光学元件检测状态和最终使用状态不同的技术问题。本发明的支撑装置包括

[发明专利] 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法 - CN103969034A

申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请年:2014.04.30 主分类号:G01M11/08(2006.01)I

一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法属于光学系统集成领域,该方法是根据初始时刻和待评估时刻光学系统的波面偏差解算系统失调量,根据系统失调量调整相应补偿器,将调整后系统与初始时刻的
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