王建

王建    

中国科学院光电技术研究所

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[发明专利] 一种动镜二维平面调整装置 - CN102508359A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.11.03 主分类号:G02B26/08(2006.01)I

本发明一种动镜二维平面调整装置,由两个连杆、驱动器和压电陶瓷、八个柔性铰链和三个支撑架构成;在第一层支撑架上固定有第一驱动器;第一柔性铰链至第四柔性铰链位于第一和第二层支撑架之间,并通过四个柔

[发明专利] 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法 - CN102231046A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.06.17 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统,用于投影光刻机非接触快速焦面检测,该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成

[发明专利] 一种动镜轴向微调装置 - CN102565983A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.11.18 主分类号:G02B7/00(2006.01)I

本发明是一种动镜轴向微调装置,所述装置包括:第一组柔性铰链、第二组柔性铰链、第三组柔性铰链、动镜框、外圆柱面、第一安装槽、第二安装槽和第三安装槽,采用第一组柔性铰链、第二组柔性铰链和第三组柔性

[发明专利] 一种光束传输稳定装置 - CN102566318A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.02.12 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明提供一种光束传输稳定装置,用于将激光器发射光束传输到照明系统,在所述传输光路上放置光束控制模块,光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43

[发明专利] 一种投影光刻调焦的图像处理方法 - CN102193340A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.06.17 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明提供一种投影光刻调焦的图像处理方法,所述的方法首先根据列向求和投影的波峰,初步求得中线位置,进行粗调焦。采用波峰识别方法和图像细分算法对目标线条进行精确定位。进而求得目标线条与指定最佳焦

[发明专利] 一种纳米光刻对准系统 - CN101281378

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2008.05.15 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

一种纳米光刻对准系统,其特征在于:对准光源发出的光线经透镜A、分光镜A反射、 显微物镜后照射在掩模和硅片上,掩模和硅片上的衍射光栅标记在对准光源作用下产生衍射 光束干涉条纹,掩模上的对准标记图

[发明专利] 一种可变矩形窗调节机构 - CN102096333A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.27 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种可变矩形窗调节机构,是采用四组位置探测器和驱动器构成伺服控制系统,分别驱动四块挡板,由四块挡板不同位置,形成大小任意变化的矩形窗。本发明提出一种闭合环形互联结构,即四块挡板两两互相

[发明专利] 一种可调光束能量衰减装置 - CN102063021A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.01 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种光束能量可调衰减装置,放置于投影光刻机中光源和照明系统之间,第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置,使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中

[发明专利] 个性化隐形眼镜定制设备 - CN1916768

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2006.09.08 主分类号:G03F7/20(2006.01)

个性化隐形眼镜定制设备由均匀照明系统、灰度 图像生成系统、投影光学系统、工件台系统和对准系统组成, 均匀照明系统产生经过均匀的平行照明光,该光束通过灰度图 像生产系统,根据人眼的像差检查

[发明专利] 一种红外成像光学读出系统的照明装置 - CN102169018A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.17 主分类号:G01J5/08(2006.01)I

一种红外成像光学读出系统的照明装置包括光源(1)、采集同步模块(2)、偏振片(3)、光学镜头组(4);所述采集同步模块(2)为一可控快门模块,由控制器和快门执行模块组成,控制器通过读出系统整机
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杨勇   合作次数:8

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严伟   合作次数:7

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邢薇   合作次数:9

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胡松   合作次数:13

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