何国田

何国田    

中国科学院上海光学精密机械研究所

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[发明专利] 物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法 - CN101017082

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B11/00(2006.01)

一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置及其测量方法,本发明采用滤波法解相位的干涉测量方法,本发明的实时干涉测量装置主要是增加了相位探测电路和实时相位数据处理电路,对光源的实行正弦调制驱动。

[发明专利] 实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪 - CN101033938

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B9/02(2006.01)

一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪,包括一半导体激光器,沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组、分束器,在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体,在分束器的反射

[发明专利] 微位移高精度实时干涉测量仪 - CN101033939

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B9/02(2006.01)

一种微位移高精度实时干涉测量仪,包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪,其特点是:所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路

[发明专利] 基于低速CCD的高速图像传感器 - CN101141574

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.10.25 主分类号:H04N5/335(2006.01)I

一种基于低速CCD的高速图像传感器,特点是其结构为:在具有可调驱动电路 与外围电路的低速CCD的光敏面前紧贴放置一个可调光阑,所述的CCD的输出端 顺次连接去噪声电路和模数转换电路。通过光阑控

[实用新型] 物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 - CN201003946

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B9/02(2006.01)I

一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置,包括一光源,沿 该光源输出光束的前进方向依次是准直扩束镜、分束器和被测量物体, 在所述的分束器的反射光束方向有一参考镜,在所述的参考镜4的反射光 束

[实用新型] 实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置 - CN201003947

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B9/02(2006.01)I

一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置,包括一半导体激 光器,沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透 镜组、分束器,在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体,在 分束

[实用新型] 微位移高精度实时干涉测量装置 - CN201016705

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.02.07 主分类号:G01B9/027(2006.01)I

一种微位移高精度实时干涉测量装置,包括由半导体激光器、准直 扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干 涉仪,其特点是:所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电 路归

[实用新型] 基于工业CCD的高速图像传感系统 - CN201114403

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2007.10.25 主分类号:H04N5/335(2006.01)I

一种基于工业CCD的高速图像传感系统,特点是其结构为:在具有可调驱动电 路与外围电路的低速CCD的光敏面前紧贴放置一个可调光阑,所述的CCD的输出 端顺次连接去噪声电路和模数转换电路。通过光阑
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刘英明   合作次数:2

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王向朝   合作次数:8

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唐锋   合作次数:2

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