陈铭勇

陈铭勇    

中国科学院光电技术研究所

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[实用新型] 一种用于检焦系统中的光线倾角调节机构 - CN202256839U

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.10.25 主分类号:G02B7/18(2006.01)I

本实用新型公开了一种用于检焦系统中的光线倾角调节机构,该机构经固定孔(9)固定在基板(8)上,整体机构为L形,调节时通过向顶压孔(10)和对拉孔(11)分别施加向下和向上的作用力,结合半径为R

[发明专利] 一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法 - CN102799080A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.09.03 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明提供一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法,包括步骤:对倾斜条纹进行傅里叶变换、相位提取、相位展开、45°和135°条纹空间频率计算、条纹倾角计算、调整CCD图像探测器。采用CCD图像探

[发明专利] 基于光子筛的蓝光光学头 - CN102737664A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.06.19 主分类号:G11B7/1353(2012.01)I

本发明是一种基于光子筛的蓝光光学头,其结构包括:蓝光激光二极管、准直透镜、偏振分光棱镜、偏振片、光子筛、光盘、柱透镜、光电探测器。蓝光激光二极管发出的光经光束整形后,通过光子筛聚焦到光盘面,反

[发明专利] 一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法 - CN102722085A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2012.05.11 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法,包括步骤:步骤S1:对待刻蚀图形进行分割,得到分割后的多帧子图形,且每帧子图形尺寸相同;步骤S2:设置模板尺寸与每帧子图形尺寸相同;步骤S3:将分

[发明专利] 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法 - CN102231046A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.06.17 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统,用于投影光刻机非接触快速焦面检测,该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成

[发明专利] 一种应用步进投影数字光刻机制作方孔型光子筛的方法 - CN103048718A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2013.01.11 主分类号:G02B5/18(2006.01)I

本发明公开了一种应用步进投影数字光刻机制作方孔型光子筛的方法,所述制作方孔型光子筛步骤的包括:首先根据给定的波长、焦距和口径设计方孔型光子筛,确定方孔型光子筛环带数、方孔数量、中心位置和边长等

[发明专利] 一种投影光刻调焦的图像处理方法 - CN102193340A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.06.17 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明提供一种投影光刻调焦的图像处理方法,所述的方法首先根据列向求和投影的波峰,初步求得中线位置,进行粗调焦。采用波峰识别方法和图像细分算法对目标线条进行精确定位。进而求得目标线条与指定最佳焦

[发明专利] 一种无掩模光刻对准系统 - CN102193339A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2011.06.13 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种无掩模光刻对准系统,包括对准光源、数字微反射镜装置、投影物镜、硅片、光电耦合成像器件、工件台、第一和第二色分光镜,第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜装置上;计算机控制数字微

[发明专利] 一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统 - CN102087483A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.27 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统,检焦标记和投影成像系统位于照明系统和多次反射棱镜之间,被检测面位于多次反射棱镜和反射镜之间,检焦标记放大系统位于反射镜和探测器件之间;投影成像系统

[发明专利] 一种可变矩形窗调节机构 - CN102096333A

申请人:中国科学院光电技术研究所 申请年:2010.12.27 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

本发明是一种可变矩形窗调节机构,是采用四组位置探测器和驱动器构成伺服控制系统,分别驱动四块挡板,由四块挡板不同位置,形成大小任意变化的矩形窗。本发明提出一种闭合环形互联结构,即四块挡板两两互相
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严伟   合作次数:8

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