王向朝

王向朝    

中国科学院上海光学精密机械研究所

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[发明专利] 全光纤大范围位移测量仪 - CN1335482

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2001.08.27 主分类号:G01B9/02

一种全光纤大范围位移测量仪,包括两个被调制 的原光源。两原光源发射的调制光束经过全光纤连接的三个环 形器和两个光纤耦合器分别到达参考反射元件和被测物体。由 参考反射元件和被测物体反射回来

[发明专利] 测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪 - CN1379224

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2002.05.17 主分类号:G01B9/02

一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪, 包括产生干涉光束的物光和参考光。物光是由激光光源发射的 激光束经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板 上后反射回的光束经第二透镜和第一

[发明专利] 双波长纳米精度实时干涉测量仪 - CN1384332

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2002.06.14 主分类号:G01B9/02

一种双波长纳米精度实时干涉测量仪,适用于静 态位移的测量。包括两个波长不相等的带有驱动电源和温度控 制器的光源。光源发射光束的传输路径全部在光纤、合波元件 和光纤耦合器内进行。两驱动电源

[发明专利] 全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪 - CN1384331

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2002.06.14 主分类号:G01B9/02

一种全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量 仪,包括波长不相同的带有第一驱动电源和温度控制器的光源, 调整光路准直用的准直光源和使被测物体产生振动的激振光 源。光束传送的全光程都是在光纤、

[发明专利] 半导体激光器光频光强调制器 - CN1388614

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2002.06.14 主分类号:H01S5/06

一种半导体激光器光频光强调制器,能够分别独 立地进行对被调制半导体激光器的光频和光强调制。调制光源 采用了三电极分布布拉格反射半导体激光器。当进行光频调制 时,通过光路中的偏振分束器、分

[发明专利] 基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 - CN102236268A

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011.07.20 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

一种基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法,本发明的特点在于通过频谱匹配进行空间像定心和波像差求解。本发明方法包括1)使用光刻仿真软件PROLITH计算不同泽尼克像差组合对应的仿真空间像,

[发明专利] 微位移实时干涉测量仪 - CN1431478

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2003.02.14 主分类号:G01J9/00

一种微位移实时干涉测量仪,其特点是它包括: 带有第一直流电源的光源,在该光源发射光束前进方向上同光 轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被 测物体;在该分束器的反射光束f

[发明专利] 高精度双F-P角位移测量仪 - CN1442671

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2003.04.11 主分类号:G01B21/22

高精度双F-P角位移测量仪,包括:带有驱动 电源的调制光源,沿着调制光源发出的光束的前进方向上放置 着准直物镜和反射镜,在该反射镜的反射光束前进方向上放置 被测转动镜面,该被测转动镜面反

[发明专利] 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 - CN102231048A

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011.06.24 主分类号:G03F7/20(2006.01)I

一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法,通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心,然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵,再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵,最后利用主成

[发明专利] 高精度单F-P板角位移测量仪 - CN1515872

申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2003.08.22 主分类号:G01B11/26

一种高精度单F-P板角位移测量仪,它包含有 带驱动电源的调制光源,沿着该调制光源发出的光束的前进方 向上置有光束准直物镜和起反射镜,在反射镜的反射光束的前 进方向上置有待测物体,在该待测物体反
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