徐科

徐科    研究员

苏州纳米技术与纳米仿生研究所

千人计划/研究员/测试平台/杰出青年【学科领域】测控技术与仪器


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[发明专利] 用于外延生长的原位应力光学监控方法及系统 - CN101092738A

申请人:苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20070608 主分类号:C30B25/16

本发明公开了一种用于外延生长的原位应力光学监控方法,将激光束经分束后形成至少2束平行的激光束,入射到外延生长片的表面,反射的激光束经光学元件出射,在图像收集设备上成像,经过图像处理后获得表面应

[发明专利] 透射电子显微镜物镜光阑 - CN103198994A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20130317 主分类号:H01J37/09

本发明提供了透射电子显微镜物镜光阑,包括光阑板、与光阑板连接的螺纹杆,以及和螺纹杆连接的手柄,所述物镜光阑沿着光阑板的轴线具有一系列C形开孔。本发明的优点在于:光阑C形开孔中心的挡板可以阻挡透

[发明专利] 一种肖特基二极管及其测试方法 - CN104681636A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20131127 主分类号:H01L29/872

本发明公开了一种肖特基二极管,包括:GaN层;位于GaN层上的绝缘层,绝缘层具有一开口部,形成肖特基接触区域;第一电极,形成于肖特基接触区域内,与GaN层接触,并且,第一电极至少部分覆盖于所述

[发明专利] 石墨烯谐振器及其制作方法 - CN104716924A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20131211 主分类号:H03H9/15

本发明提供一种石墨烯谐振器及其制作方法,所述石墨烯谐振器包括衬底、声表面波发生器及石墨烯,所述声表面波发生器设置在衬底表面,用于产生声表面波,所述衬底在所述声表面波传播方向上设置有一凹槽,所述

[发明专利] 光谱测试装置及其测试方法 - CN106197665B

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20150429 主分类号:G01J3/28

本发明公开了一种光谱测试装置,包括:用于对待测光谱进行分光的单色仪,其至少包括用于出射经分光的待测光谱的出光狭缝;与出光狭缝相对设置的光谱放大器,其对经由出光狭缝出射的经分光的待测光谱进行放大

[发明专利] 助熔剂法生长GaN单晶体系中促进籽晶液相外延的方法 - CN107687022A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司 申请年:20160804 主分类号:C30B19/02

本发明公开了一种助熔剂法生长GaN单晶体系中促进籽晶液相外延的方法,其包括:在以助熔剂法生长氮化镓单晶的过程中,于氮化镓单晶的生长体系内添加碳添加剂,所述碳添加剂包括氮化后的碳材料。较之现有技

[发明专利] AlN上的欧姆接触电极结构及其制作方法 - CN108206132A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20161216 主分类号:H01L21/28

本发明公开了一种在AlN上形成的欧姆接触电极结构及其制作方法。在一些实施方案中,一种在AlN上制作欧姆接触电极结构的方法包括:在的AlN基材上形成金属电极结构,获得AlN/金属接触结构;以及,

[发明专利] 基于扫描探针的光路减震装置及方法 - CN107064563B

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20170329 主分类号:G01Q30/00

本发明提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法,用于减少光路振动,所述装置包括控制器、第一扫描振镜及一第二扫描振镜、第一采样镜及第二采样镜、第一四象限光探测器及第二四象限光探测器。本发明的优点

[发明专利] 衬底、半导体器件及衬底制作方法 - CN108878595B

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20170508 主分类号:H01L33/00

本申请公开了一种衬底、半导体器件及衬底制作方法,该衬底包括蓝宝石衬底、以及形成于蓝宝石衬底上的图形化的AlN薄膜。该半导体器件包括所述的衬底、以及形成于所述衬底上的外延层。衬底的制作方法包括:

[发明专利] 掺杂Mg的p型Ⅲ族氮化物单晶及其制备方法和应用 - CN108866628A

申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 申请年:20170511 主分类号:C30B29/40

本发明公开了一种掺杂Mg的p型III族氮化物单晶及其制备方法和应用。所述制备方法包括:掺杂Mg的III族氮化物多晶、III族氮化物籽晶在超临界态的氨中,以及400~750℃、150MPa~60
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樊英民   合作次数:27

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徐耿钊   合作次数:34

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