成果名称 ---【 实时纳米精度面形干涉测量仪 】

基本信息
所属机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
立项名称
实时纳米精度面形干涉仪
成果属性
1
主题词
研究起止时间
2005.10 至2007.12
专利授权号
软件登记号
成果公报内容
纳米精度表面形貌检测在先进光学制造、半导体加工、微电子机械系统(MEMS)等领域应用广泛用于透镜、棱镜、超光滑镜基片等光学元件表面加工精度的检测,光盘基片、硅片、MEMS器件等物体的三维形貌检测。目前 国内外物体表面形貌的纳米精度测量主要采用基于高精度移相技术的光学干涉测量仪,主要为Zygo、Veeco等国外公司产品,其表面形貌测量时间一般为秒量级。该纳米精度表面形貌测量仪采用正弦相位调制干涉积分实时测量新技术。该技术测量速度快、精度高,抗干扰能力强,核心技术拥有多项自主知识产权,在高精度面形检测领域有着广阔的应用前景。
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