标准名称 ---【 光掩模对准标记规范 】

基本信息
标准号
GB/T 16524-1996
发布日期
1996-09-09
发布单位
CN-GB
实施或试行日期
1997-05-01
确认日期
2004-10-14
国际标准分类
31.200
起草单位
中国科学院微电子中心
标准类型
CJ
标准水平
正文语种
汉语
英文标准名称
Specification for registration marks for photomasks
载体形态
6P.;A4
采用关系
SEMI P6-1988,EQV
中文主题词
光学仪器;标记;规范
英文主题词
markup;token;specification;optical instruments;specifications;marks
排序码
GB 16524 1996 000 000 000


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