成果名称 ---【 短波和长波增强的64元硅光二极管线列阵 】

基本信息
所属机构
中科院上海技术物理研究所
主题词
光电探测器;短波长波响应率
研究起止时间
1999.03 至2000.03
成果公报内容
64元硅光二极管线列阵〈型号定为PD64)是根据实用型模块化成像光谱仪的需要而研制的。该成像光谱仪将成像技术和光谱仪技术结合在一起,在航空遥感中可同时获得128个波段的地物图像。"PD64"在该成像光谱仪中用于460~ll00nm波段信号的探测:经光栅分光后的地物图像聚焦在"PD64"上,从而可得到从可见到近红外波段不同波长,带宽为10nm左右的64幅图像。因此"PD64"是成像光谱仪中的核心器件之一。根据成像光谱仪总体设计的要求,希望"PD64"有快的响应速度和高的响应率。 根据任务的要求,1999年3月下达任务后,我们开始设计、研制该器件。经过将近一年的努力,于2000年3月研制成功并交付使用。 研制中突破的关键技术如下: 1.用计算机模拟了硅光探测器的响应率光谱分布,确定了扩散浓度、结深、衬底浓度、Si02膜厚度等最佳的结构和工艺参数。采用了拼接技术,把64元探测器分成四段,每段为16元。通过改变工艺参数,对首尾两段分别进行蓝紫光和近红外波段响应的增强。 2.采用磷吸杂的技术,降低探测器的暗电流。 3.采用SiN钝化工艺,提高器件的可靠性。同时在工艺上,成功地消除了钝化膜对透光特性的影响。 上述技术的采用保证了研制的器件达到低暗电流,快速响应和蓝紫光、近红外波段高响应率的优异性能。


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