标准名称 ---【 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 】

基本信息
标准号
GB/T 16880-1997
发布日期
1997-06-20
发布单位
CN-GB
实施或试行日期
1998-03-01
确认日期
2004-10-14
国际标准分类
31.020
起草单位
中国科学院微电子中心
标准类型
CJ
标准水平
A
正文语种
汉语
英文标准名称
Guidelines for photomask defect classification and size definition
载体形态
3P.;A4
采用关系
SEMI P22-1993,IDT
中文主题词
定义;缺陷与故障;集成电路工艺;尺寸;分类系统;手册;光掩模
英文主题词
size;defects;dimensional;sizes;manuals;size content;handbooks;integrated circuit technology;dimensions;definitions;definition;photomask;definitions designation;classification systems
排序码
GB 16880 1997 000 000 000


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