标准名称 ---【 关键尺寸(CD)计量方法 】

基本信息
标准号
GB/T 17864-1999
发布日期
1999-09-13
发布单位
CN-GB
实施或试行日期
2000-06-01
确认日期
2004-10-14
国际标准分类
31.200
起草单位
中国科学院微电子中心
标准类型
CF
标准水平
B
正文语种
汉语
英文标准名称
CD Metrology procedures
载体形态
10P.;A4
采用关系
SEMI P24-1994,IDT
中文主题词
计量;尺寸;测量;测量方法
英文主题词
strategy of measurement;dimensions;dimensional;sizes;gauging;size;size content;measuring methods;measuring;measurements;measurement;methods for measuring
排序码
GB 17864 1999 000 000 000


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