标准名称 ---【 焦深与最佳聚焦的测量规范 】

基本信息
标准号
GB/T 17865-1999
发布日期
1999-09-13
发布单位
CN-GB
实施或试行日期
2000-06-01
确认日期
2004-10-14
国际标准分类
31.200
起草单位
中国科学院微电子中心
标准类型
CF
标准水平
B
正文语种
汉语
英文标准名称
Specification for measuring depth of focus and best focus
载体形态
10P.;A4
采用关系
SEMI P25-1994,IDT
中文主题词
光学测量;测量;聚焦;焦深;规范;焦距;光学
英文主题词
optical measurement;specification;optics;focal length;measuring;measurements;measurement;specifications
排序码
GB 17865 1999 000 000 000


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