专利名称 ---【 用于实现光波导材料制备的方法 】

基本信息
申请号
CN03147258.3
申请日
20030711
公开(公告)号
CN1220080C
公开(公告)日
20050126
申请(专利权)人
中国科学院半导体研究所
申请人地址
100083北京市海淀区清华东路甲35号
发明人
李健;郜定山;安俊明;李建光;王红杰;胡雄伟; 专利类型 发明专利
摘要
一种用于实现光波导材料制备的方法,包括如下保证:(1)在硅衬底上用阳极氧化方法生成一层多孔硅;(2)在多孔硅层上用火焰水解法生成一层高掺杂的二氧化硅粉末;(3)对材料进行高温退火,退火后得到折射率渐变的平面波导材料;(4)根据器件设计,刻蚀出所需的波导结构;(5)根据需要生长上包层结构,整个波导制备完毕。
主权项
1、一种用于实现光波导材料制备的方法,其特征在于,包括如下 步骤: (1)在硅衬底上用阳极氧化方法生成一层多孔硅; (2)在多孔硅层上用火焰水解法生成一层高掺杂的二氧化硅粉末; (3)对材料进行高温退火,退火后得到折射率渐变的平面波导材 料; (4)根据器件设计,刻蚀出所需的波导结构; (5)根据需要生长上包层结构,整个波导制备完毕。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02B6/13

 

法律状态信息
法律状态公告日
20080910
法律状态
专利权的终止(未缴年费专利权终止) 法律状态信息
CN03147258 20080910 专利权的终止(未缴年费专利权终止) 专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:2005.9.21
法律状态公告日
20050330
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN03147258 20050330 实质审查的生效
法律状态公告日
20050921
法律状态
授权 法律状态信息
CN03147258 20050921 授权 授权
法律状态公告日
20050126
法律状态
公开 法律状态信息
CN03147258 20050126 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司
代理人姓名
汤保平

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息


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