专利名称 ---【 图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法 】

基本信息
申请号
CN200310119329.1
申请日
2003.12.04
公开(公告)号
CN1624872
公开(公告)日
2005.06.08
申请(专利权)人
中国科学院兰州化学物理研究所
申请人地址
730000甘肃省兰州市城关区天水路342号
发明人
陈淼;管飞; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种硅表面图案化导电聚苯胺薄 膜的制备方法。本发明以易吸附于单晶硅片表面的有机硅烷和 苯胺为原料。制备方法包括图案化自组装膜以及图案化导电聚 苯胺薄膜的制备两个步骤。该方法的特点制备方法简单,产物 组成易于控制,所获得的图案表面平整,边界清晰。
主权项
1、一种图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法,其特征在于该方法依次包括如下 步骤: A.图案化自组装膜的制备 将洁净的印章浸入浓度为1mM-10mM的十八烷基三氯硅烷(OTS)单体 的正己烷或无水甲苯溶液中,保持1-5s;待印章上的正己烷或无水甲苯挥发完 全后,与洁净的单晶硅片表面接触10s-30s,然后用丙酮超声洗涤; B.图案化导电聚苯胺薄膜的制备 以图案化的单晶硅片为工作电极,铂为辅助电极,Ag/AgCl电极为参比电极, KCl或NaCl为支持电解质,在0.05M-0.5M苯胺单体的酸性溶液中进行电化学 聚合,控制溶液的PH在0--2之间,聚合完成后硅片用二次水超声清洗。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L21/027
IPC分类号
H01L21/027;H01L21/70;H01L21/98

 

法律状态信息
法律状态公告日
2009.02.04
法律状态
专利权的终止(未缴年费专利权终止) 法律状态信息
专利权的终止(未缴年费专利权终止) 授权公告日:2007.9.5
法律状态公告日
2007.09.05
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2005.08.10
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2005.06.08
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
兰州中科华西专利代理有限公司
代理人姓名
方晓佳

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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