专利名称 ---【 模块化原子力显微镜 】

基本信息
申请号
CN200410054324.X
申请日
2004.09.07
公开(公告)号
CN1587982
公开(公告)日
2005.03.02
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
徐文东;杨金涛;吉小明; 专利类型 发明专利
摘要
一种模块化原子力显微镜,由7个模块组成:第 一模块为步近电机;第二模块是四维调整的样品架,固定在步 近电机上;第三模块是z向扫描器;第四模块包括微悬臂针尖 和聚焦透镜;第五模块是xy向的扫描器;第六模块包括具有 调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探 测器;第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发 明模块化原子力显微镜的调整和更换方便;利用各模块又很容 易搭建不同结构的原子力显微镜;样品具有粗定位的功能。
主权项
1、一种模块化原子力显微镜,其特征在于它由7个模块组成:第一模块 (1)为步近电机(101);第二模块(2)是四维调整的样品架(201),固定 在步近电机(101)上;第三模块(3)是z向扫描器(301);第四模块(4) 包括微悬臂针尖(401)和聚焦透镜(402);第五模块(5)是xy向的扫描器 (501);第六模块(6)包括具有调焦透镜的半导体激光器(601)、反射镜(602)、 成像透镜(603)和四象限光电探测器(604);第七模块(7)包括光学显微 镜(701)、CCD摄像头(702)和监视器(703); 所述的第五模块(5)的xy向平板扫描器(501)中间有方形通孔;第三 模块(3)的z向扫描器(301)固定在xy向扫描器(501)的方形通孔内壁 上;第四模块(4)固定在第三模块(3)的z向扫描器(301)上,第四模块 (4)的微悬臂针尖(401)位于聚焦透镜(402)的焦点处;第六模块(6) 的激光器(601)发出的激光光束的前进方向有反射镜(602),光在反射镜(602) 上反射后通过聚焦透镜(402)的中心汇聚到微悬臂针尖(401)的针尖上, 从针尖上反射的光通过成像透镜(603)的中心,在四象限光电探测器(604) 上形成光斑;第七模块(7)的CCD摄像头(702)和光学显微镜(701)组合 在一起,CCD摄像头(702)的输出信号供给监视(703);第七模块(7)固 定在第六模块(6)的反射镜(602)的后面,微悬臂针尖401的针尖到光学 显微镜701的镜面的距离等于光学显微镜701的工作距离,样品、微悬臂针 尖401的针尖和光学显微镜701同轴,而且所述的反射镜(602)的尺寸应小 于从微悬臂针尖401的针尖进入光学显微镜(701)的光束在反射镜(602) 处的光斑。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01N13/16
IPC分类号
G01N13/16

 

法律状态信息
法律状态公告日
2014.10.29
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 13/16 申请日:20040907 授权公告日:20060614 终止日期:20130907
法律状态公告日
2006.06.14
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2005.05.04
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2005.04.13
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>地址<变更前权利人>上海市800-211邮政信箱<变更后权利人>上海市800-211邮政信箱<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.04.13
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>共同申请人<变更前权利人> <变更后权利人>上海爱建纳米科技发展有限公司<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.04.13
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>申请人<变更前权利人>中国科学院上海光学精密机械研究所<变更后权利人>中国科学院上海光学精密机械研究所<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.03.02
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司
代理人姓名
张泽纯

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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