专利名称 ---【 针尖扫描的光点跟踪装置 】

基本信息
申请号
CN200410054325.4
申请日
2004.09.07
公开(公告)号
CN1587983
公开(公告)日
2005.03.02
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
杨金涛;徐文东;吉小明; 专利类型 发明专利
摘要
一种针尖扫描的光点跟踪装置,其特征是该装置 由五个模块构成:第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第 一反射体,第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射 体,第三模块即z向扫描器;第四模块包括聚焦透镜、微悬臂 针尖和固定该微悬臂针尖的连接体,第五模块包括激光器、成 像透镜和四象限光电探测器,该四象限光电接收器放在成像透 镜焦平面,激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构;本 发明装置结构简单,各模块调整和更换方便,激光聚焦光点在 扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动,保证微悬臂针尖 没有发生实际偏转的情况下,反射光也不会产生相对光电探测 器移动。
主权项
1、一种针尖扫描的光点跟踪装置,其特征是该装置由五个模块构成: 第一模块(1)包括y向扫描器(101)及固定在其上的第一反射体(102), 该y向扫描器(101)是一具有中央长方形孔(103)的长方块结构,第一反 射体(102)固定在该y向扫描器(101)的上面,且第一反射体(102)的反 射面与入射光线成45°; 第二模块(2)包括x向扫描器(201)及固定在其上的第二反射体(202), 所述的x向扫描器(201)具有长方块的外观,整体地固定在所述的y向扫描 器(101)中央的长方形孔(103)中,第二反射体(202)跟第一反射体(102) 在同一水平面上,第二反射体(202)的反射面于入射光线成45°; 第三模块(3)即z向扫描器(301); 第四模块(4)包括聚焦透镜(403)、微悬臂针尖(401)和固定该微悬 臂针尖(401)的连接体(402),该微悬臂针尖(401)固定在z向扫描器(301) 的下面的一连接体(402)上,该微悬臂针尖(401)的尖端位于聚焦透镜(403) 下方焦点; 第五模块(5)包括激光器(501)、成像透镜(502)和四象限光电探测 器(503),该四象限光电接收器(503)放在成像透镜(502)焦平面,激光 器(501)和四象限光电探测器(503)各有一个调节机构; 第五模块(5)固定在所有模块的上方,且所述的激光器(501)、第一反 射体(102)和第二反射体(202)在同一平面上;第二模块(2)嵌固在第一 模块(1)的长方形孔(103)中,第三模块(3)和第二模块(2)是组合在 一起的,第二模块(2)的x向扫描器(201)带动第三模块(3)、第四模块(4) 和x向扫描器(201)上的第二反射体(202)在x方向上移动,第一模块(1) 的y向扫描器(101)带动第二模块(2)、第三模块(3)、第四模块(4)和 第一反射体(102)在y方向上移动。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01N13/16
IPC分类号
G01N13/16;G12B21/20;G12B21/08

 

法律状态信息
法律状态公告日
2012.11.14
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 13/16 申请日:20040907 授权公告日:20060906 终止日期:20110907
法律状态公告日
2006.09.06
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2005.05.04
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2005.04.20
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>地址<变更前权利人>上海市800-211邮政信箱<变更后权利人>上海市800-211邮政信箱<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.04.20
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>共同申请人<变更前权利人> <变更后权利人>上海爱建纳米科技发展有限公司<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.04.20
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权的转移 法律状态信息
<变更事项>申请人<变更前权利人>中国科学院上海光学精密机械研究所<变更后权利人>中国科学院上海光学精密机械研究所<登记生效日>2005.03.04
法律状态公告日
2005.03.02
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司
代理人姓名
张泽纯

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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