专利名称 ---【 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 】

基本信息
申请号
CN200410066370.1
申请日
2004.09.15
公开(公告)号
CN1588602
公开(公告)日
2005.03.02
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050上海市长宁区长宁路865号
发明人
焦继伟;邢向龙;王跃林; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种翘曲膜结构的单刀双掷射频和 微波微机械开关及其制作方法。由第一基板上的第一凹部、位 于第一凹部底部以及第一基板表面上的第一波导线、第一凹部 底部的第一吸引电极、第一基板表面上的转换导体、第二基板 上的第二凹部、位于第二凹部底部以及第二基板表面上的第二 波导线、第二凹部底部的第二吸引电极、悬于第一凹部和第二 凹部之间的翘曲弹性介质膜、翘曲弹性介质膜上的驱动导电膜 以及其上的第二介质膜构成的复合膜组成。翘曲弹性介质膜内 含有不大于100MPa的预置压应力。在稳定状态,复合膜与某 一路波导线表面接触,使该路信号保持断开,复合膜与另一路 波导线分开,使该路信号保持导通。具有状态锁存功能又无静 态功耗特点。
主权项
1、一种单刀双掷射频和微波微机械开关,其特征在于该开关由第一 基板(201)上的第一凹部(214)、位于第一凹部底部以及第一基板 表面上的第一波导线、第一凹部底部的第一吸引电极、第一基板表面 上的转换导体、第二基板(210)上的第二凹部(213)、位于第二凹 部底部以及第二基板表面上的第二波导线、第二凹部底部的第二吸引 电极、悬于第一凹部和第二凹部之间的翘曲弹性介质膜(205)、翘曲 弹性介质膜上的驱动导电膜208以及其上的第二介质膜(209)组成, 所述翘曲弹性介质膜中存在预应力。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01H59/00
IPC分类号
H01H59/00;H01P1/10

 

法律状态信息
法律状态公告日
2017.11.03
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01H 59/00 申请日:20040915 授权公告日:20080305 终止日期:20160915
法律状态公告日
2014.09.03
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利权的转移 IPC(主分类):H01H 59/00 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 变更后权利人:上海矽睿科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号 变更后权利人:201899 上海市嘉定区城北路235号2号楼1楼 登记生效日:20140813
法律状态公告日
2008.03.05
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2005.05.04
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2005.03.02
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海智信专利代理有限公司
代理人姓名
潘振甦
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