专利名称 ---【 翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 】

基本信息
申请号
CN200410066370.1
申请日
2004.09.15
公开(公告)号
CN1588602
公开(公告)日
2005.03.02
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050上海市长宁区长宁路865号
发明人
焦继伟;邢向龙;王跃林; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种翘曲膜结构的单刀双掷射频和 微波微机械开关及其制作方法。由第一基板上的第一凹部、位 于第一凹部底部以及第一基板表面上的第一波导线、第一凹部 底部的第一吸引电极、第一基板表面上的转换导体、第二基板 上的第二凹部、位于第二凹部底部以及第二基板表面上的第二 波导线、第二凹部底部的第二吸引电极、悬于第一凹部和第二 凹部之间的翘曲弹性介质膜、翘曲弹性介质膜上的驱动导电膜 以及其上的第二介质膜构成的复合膜组成。翘曲弹性介质膜内 含有不大于100MPa的预置压应力。在稳定状态,复合膜与某 一路波导线表面接触,使该路信号保持断开,复合膜与另一路 波导线分开,使该路信号保持导通。具有状态锁存功能又无静 态功耗特点。
主权项
1、一种单刀双掷射频和微波微机械开关,其特征在于该开关由第一 基板(201)上的第一凹部(214)、位于第一凹部底部以及第一基板 表面上的第一波导线、第一凹部底部的第一吸引电极、第一基板表面 上的转换导体、第二基板(210)上的第二凹部(213)、位于第二凹 部底部以及第二基板表面上的第二波导线、第二凹部底部的第二吸引 电极、悬于第一凹部和第二凹部之间的翘曲弹性介质膜(205)、翘曲 弹性介质膜上的驱动导电膜208以及其上的第二介质膜(209)组成, 所述翘曲弹性介质膜中存在预应力。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01H59/00
IPC分类号
H01H59/00;H01P1/10

 

法律状态信息
法律状态公告日
2017.11.03
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01H 59/00 申请日:20040915 授权公告日:20080305 终止日期:20160915
法律状态公告日
2014.09.03
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利权的转移 IPC(主分类):H01H 59/00 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 变更后权利人:上海矽睿科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号 变更后权利人:201899 上海市嘉定区城北路235号2号楼1楼 登记生效日:20140813
法律状态公告日
2008.03.05
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2005.05.04
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2005.03.02
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海智信专利代理有限公司
代理人姓名
潘振甦

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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