专利名称 ---【 超短脉冲激光微加工制作光纤F-P传感器的方法及设备 】

基本信息
申请号
CN200710017655.X
申请日
20070409
公开(公告)号
CN101028670A
公开(公告)日
20070905
申请(专利权)人
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址
710068陕西省西安市友谊西路234号
发明人
程光华;王屹山;赵卫;陈国夫;李明;张慧星; 专利类型 发明专利
摘要
一种超短脉冲激光微加工制作光纤F-P传感器的方法及设备,将超短脉冲激光特别是飞秒激光通过激光全反镜和聚焦系统后对待加工光纤进行F-P腔加工,生成光纤F-P传感器,同时通过一个半透半反镜将待加工光纤上的加工图像和定位情况反射到CCD摄像机后传输到监视器。本发明方法和设备解决了传统的光纤F-P传感器灵敏度低且传感器与待测材料不相容的技术问题,具有传感灵敏度高、传感器与待测材料的相容性好、精度高、操作简便、可实时监视、能量损失小,利用率高的优点。
主权项
1、一种超短脉冲激光微加工制作光纤F-P传感器的方法,包括以下步骤: 1]准备待加工光纤:将待加工光纤(14)安装在三维移动平台(16)上; 2]产生超短脉冲激光束:由超短脉冲激光系统(1)输出一束超短脉冲激光; 3]生成激光焦点:该超短脉冲激光通过激光全反镜(12)进行反射,再通过聚 焦系统(13)聚焦到待加工光纤(14)对应的在焦平面,进行F-P腔加工,生成光纤 F-P传感器; 4]监视待加工光纤的加工和定位情况:将一个与超短脉冲激光系统(1)光束方 向平行设置的反射照明光源(6)通过半透半反镜(11)反射到待加工光纤(14)上,设 置在半透半反镜(11)透射方向的CCD摄像机(8)将加工图像和定位情况传输到监视 器(10)。

 

IPC信息
IPC主分类号
B23K26/04

 

法律状态信息
法律状态公告日
20070905
法律状态
公开 法律状态信息
CN200710017655 20070905 公开 公开
法律状态公告日
20071031
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN200710017655 20071031 实质审查的生效
法律状态公告日
20090715
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回 法律状态信息
CN200710017655 20090715 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回

 

代理信息
代理机构名称
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人姓名
王少文


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