专利名称 ---【 硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法 】

基本信息
申请号
CN200710040541.7
申请日
20070511
公开(公告)号
CN101303366B
公开(公告)日
20081112
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
发明人
李昕欣;贾孟军;王跃林; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法,其特征在于所述的加速度开关传感器是由绝缘衬底上的锚区和硅框架、单端固支在锚区的低阻硅悬臂梁、绝缘衬底上的金属静电驱动导电定极板、悬臂梁下表面上的绝缘介质层、介质层上金属接触电极、固定金属接触电极以及信号驱动/检测回路组成。提供的传感器驱动电压与阀值加速度间存在一定关系且具有锁止功能。同时利用金属桥路通断检测传感器工作状态的信号输出方式,使利用MEMS制作的加速度开关传感器具有结构简单、体积小、功耗低、导通电阻小、接口电路方便、输入、输出隔离性好等特点。
主权项
一种硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器,其特征在于所述的加速度开关传感器是由绝缘衬底上的锚区和硅框架、单端固支在锚区的低阻硅悬臂梁、绝缘衬底上的金属静电驱动导电定极板、悬臂梁下表面上的绝缘介质层、介质层上金属接触电极、固定金属接触电极以及信号驱动/检测回路组成;所述传感器的驱动电压与阀值加速度之间关系依不同类型的关系式为:i).准静态、低频加速度条件下,归一化加速度和归一化驱动电压关系符合关系式ii).阶跃加速度条件下,归一化加速度和归一化驱动电压关系符合关系式式中为归一化加速度,v为归一化驱动电压,作为可动导电极板的悬臂梁稳定状态所能达到最大位移,为施加归一化驱动电压v时可动导电极板的自由位置的位移。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01P15/135

 

法律状态信息
法律状态公告日
20081112
法律状态
公开 法律状态信息
CN200710040541 20081112 公开 公开
法律状态公告日
20100512
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN200710040541 20100512 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/135申请日:20070511
法律状态公告日
20120829
法律状态
授权 法律状态信息
CN200710040541 20120829 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
上海智信专利代理有限公司 31002
代理人姓名
潘振甦


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