专利名称 ---【 波导光开关及其制作方法 】

基本信息
申请号
CN200710055943.4
申请日
2007.08.09
公开(公告)号
CN101105553
公开(公告)日
2008.01.16
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033吉林省长春市东南湖大路16号
发明人
鄂书林;孔光明;赵虎旦;邓文渊; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种三维垂直耦合型波导光开关及其制作方法,波导光开关采用五层膜结 构,从基底硅片至金属电极依次为下波导下包层、下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、 上波导上包层;下波导包层和上波导包层、垂直耦合层选用聚酯类聚合物,上波导和下波导 均采用环化橡胶类聚合物,两者之间的夹角为0.2°~1.8°。五层膜采用涂敷方法制作,上波 导和下波导采用光刻技术,制作工艺简单、制作成本低,并且开关驱动功率低、响应速度快、 消光比高、插入损耗小。本发明的波导光开关可以作为基本单元应用于大规模集成光波导回 路中。
主权项
1、一种波导光开关,包括下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层,其 中下波导芯层包括下波导及下波导侧包层,上波导芯层包括上波导及上波导侧包层;其特征 在于还包括下波导下包层(2);下波导下包层(2)、下波导侧包层(3)、垂直耦合层(4)、 上波导侧包层(5)、上波导上包层(6)均采用聚酯类聚合物BCB;上波导(8)和下波导(7) 均采用环化橡胶类聚合物Su8。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02B6/12(2006.01)I
IPC分类号
G02B6/12(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;G02B6/35(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2011.10.12
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20070809 授权公告日:20081224 终止日期:20100809
法律状态公告日
2008.12.24
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2008.03.05
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2008.01.16
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
长春菁华专利商标代理事务所
代理人姓名
赵炳仁

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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