专利名称 ---【 一种测量晶体硅体少子寿命的化学钝化方法 】

基本信息
申请号
CN200710177556.8
申请日
2007.11.16
公开(公告)号
CN101162694
公开(公告)日
2008.04.16
申请(专利权)人
中国科学院电工研究所
申请人地址
100080北京市海淀区中关村北二条6号
发明人
周春兰;王文静;唐煜;李海玲; 专利类型 发明专利
摘要
一种测量晶体硅少子寿命的化学钝化方法,将经过去损伤层处理后的硅片在常温下用去离 子水稀释39%或49%的高浓度氟化氢溶液漂洗,去除硅片表面的自然氧化物,将硅片放入透明 的,耐氟化氢HF,对电信号无干扰的塑料袋中,然后在晶体硅前后表面滴几滴浓度39%或49% 的氟化氢HF溶液,再在塑料袋外面将硅片上的氟化氢(HF)溶液均匀抹平,使表面的氟化氢溶液 的厚度低于1mm;去除在硅片上残留的气泡。用塑料封口机对塑料袋密封后,将塑料袋放入测 试设备的样品台中进行测试。本发明仅可以达到对硅片表面均匀的钝化效果,使表面复合速度 降低到100cm/s以下。而且成本低,易操作,测量不费时,尤其适用于太阳电池生产和研究单 位对硅片原材料的检测和分析。
主权项
1、一种测量晶体硅少子寿命的化学钝化方法,其特征在于工艺步骤如下: 1)将经过去损伤层处理之后的硅片在常温下漂洗,去除硅片表面的自然氧化物,直到硅片 表面脱水为止;漂洗溶液为用去离子水稀释的浓度为39%或49%(质量比)的氟化氢溶液,漂 洗溶液中氟化氢溶液的浓度范围为1%~39%或1%~49%(体积比),漂洗时间为60s-10s; 2)将硅片上残留的氟化氢HF用氮气吹掉,使表面不再残留氟化氢溶液; 3)将硅片放入耐氟化氢HF,对电信号无干扰的透明塑料袋中,在硅片上的晶体硅前后表面 用塑料滴管滴几滴浓度39%或49%的氟化氢HF溶液,然后在塑料袋外面将硅片上的氟化氢(HF) 溶液均匀抹平,使表面的氟化氢溶液的厚度低于1mm;去除在硅片上残留的气泡,最后用塑料 封口机对塑料袋密封;整个操作过程在通风良好的环境或在通风橱中进行; 4)将密封好的塑料袋放入测试设备的样品台中进行测试。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L21/314(2006.01)I
IPC分类号
H01L21/314(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2016.08.03
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 法律状态信息
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/314 变更事项:专利权人 变更前:光为绿色新能源股份有限公司 变更后:光为绿色能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司 变更后:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司
法律状态公告日
2016.08.03
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/314 登记生效日:20160713 变更事项:专利权人 变更前权利人:光为绿色能源科技有限公司 变更后权利人:保定光为绿色能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司 变更后权利人:074000 河北省保定市高碑店市东方路北侧兴隆大街西侧
法律状态公告日
2011.11.30
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 法律状态信息
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/314 变更事项:专利权人 变更前:光为绿色新能源有限公司 变更后:光为绿色新能源股份有限公司 变更事项:地址 变更前:074000 河北省高碑店市新工业区 变更后:074000 河北省高碑店市新工业区光为绿色新能源股份有限公司
法律状态公告日
2010.08.04
法律状态
文件的公告送达 法律状态信息
文件的公告送达 IPC(主分类):H01L 21/314 收件人:陈铁 文件名称:手续合格通知书
法律状态公告日
2010.06.30
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/314 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院电工研究所 变更后权利人:光为绿色新能源有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100080 北京市海淀区中关村北二条6号 变更后权利人:074000 河北省高碑店市新工业区 登记生效日:20100526
法律状态公告日
2009.11.18
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2008.10.29
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
2008.04.16
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人姓名
关 玲;成金玉

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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