专利名称 ---【 一种测量晶体硅体少子寿命的化学钝化方法 】

基本信息
申请号
CN200710177556.8
申请日
20071116
公开(公告)号
CN100561683C
公开(公告)日
20080416
申请(专利权)人
保定光为绿色能源科技有限公司
申请人地址
100080北京市海淀区中关村北二条6号
发明人
周春兰;王文静;唐煜;李海玲; 专利类型 发明专利
摘要
一种测量晶体硅少子寿命的化学钝化方法,将经过去损伤层处理后的硅片在常温下用去离 子水稀释的氟化氢溶液漂洗,去除硅片表面的自然氧化物,将硅片放入透明的,耐氟化氢HF, 对电信号无干扰的塑料袋中,然后在晶体硅前后表面滴几滴氟化氢HF溶液,再在塑料袋外面将 塑料袋内硅片上的氟化氢(HF)溶液均匀抹平,使表面的氟化氢溶液的厚度低于1mm;去除在硅 片上残留的气泡。用塑料封口机对塑料袋密封后,将塑料袋放入测试设备的样品台中进行测试。 本发明不仅可以达到对硅片表面均匀的钝化效果,使表面复合速度降低到100cm/s以下。而且成 本低,易操作,测量不费时,尤其适用于太阳电池生产和研究单位对硅片原材料的检测和分析。
主权项
1、一种测量晶体硅少子寿命的化学钝化方法,其特征在于工艺步骤如下: 1)将经过去损伤层处理之后的硅片在常温下漂洗,去除硅片表面的自然氧化物,直到硅片 表面脱水为止;漂洗溶液为用去离子水稀释浓度为39%或49%(质量比)的氟化氢HF而得 到的溶液,漂洗溶液中氟化氢溶液的浓度范围为1%~49%(体积比),漂洗时间为60s-10s; 2)将硅片上残留的氟化氢HF用氮气吹掉,使表面不再残留氟化氢溶液; 3)将硅片放入耐氟化氢HF,对电信号无干扰的透明塑料袋中,在硅片上的晶体硅前后 表面用塑料滴管滴几滴浓度39%或49%的氟化氢HF溶液,然后在塑料袋外面将塑料袋内 硅片上的氟化氢HF溶液均匀抹平,使表面的氟化氢溶液的厚度低于1mm;去除在硅片上残 留的气泡,最后用塑料封口机对塑料袋密封;整个操作过程在通风良好的环境或在通风橱中 进行; 4)将密封好的塑料袋放入测试设备的样品台中进行测试。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L21/314

 

法律状态信息
法律状态公告日
20160803
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 法律状态信息
CN200710177556 20100630 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/314变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院电工研究所变更后权利人:光为绿色新能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:100080 北京市海淀区中关村北二条6号变更后权利人:07400
法律状态公告日
20160803
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
CN200710177556 20081029 实质审查的生效 实质审查的生效
法律状态公告日
20111130
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 法律状态信息
CN200710177556 20080416 公开 公开
法律状态公告日
20100804
法律状态
文件的公告送达 法律状态信息
CN200710177556 20091118 授权 授权
法律状态公告日
20100630
法律状态
专利申请权、专利权的转移 法律状态信息
专利申请权、专利权的转移
法律状态公告日
20081029
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效
法律状态公告日
20080416
法律状态
公开 法律状态信息
公开
法律状态公告日
20091118
法律状态
授权 法律状态信息
授权

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
关玲;成金玉

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息


| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |

版权:中国科学院 主办:中国科学院科技促进发展局 承办:中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12

建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器