专利名称 ---【 物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 】

基本信息
申请号
CN200720067116.2
申请日
2007.02.07
公开(公告)号
CN201003946
公开(公告)日
2008.01.09
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
何国田;王向朝; 专利类型 实用新型
摘要
一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置,包括一光源,沿 该光源输出光束的前进方向依次是准直扩束镜、分束器和被测量物体, 在所述的分束器的反射光束方向有一参考镜,在所述的参考镜4的反射光 束穿过所述的分束器的透射光束方向是一光电探测元件,特点是还有由 第一放大器、第二放大器和计算电路构成的相位探测电路,由实时解相 电路、相位修正电路和表面形貌值计算电路依次连接构成的实时相位数 据处理电路;由直流电源输出的电压和交流信号源输出的正弦调制信号 经半导体电流调制器对所述光源进行驱动和调制;所述的表面形貌值计 算电路的输出端接计算机。本实用新型能对物体表面形貌进行纳米精度 的实时干涉测量,测量范围扩展到毫米量级。
主权项
1、一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置,包括一光源 (1),沿该光源(1)输出光束的前进方向依次是准直扩束镜(2)、分 束器(3)和被测量物体(5),在所述的分束器(3)的反射光束方向有 一参考镜(4),在所述的参考镜(4)的反射光束穿过所述的分束器(3) 的透射光束方向是一光电探测元件(6),其特征在于还有: 由第一放大器(7)、第二放大器(8)和计算电路(9)构成的相位 探测电路(17),该第一放大器(7)和第二放大器(8)的输出端同时 接计算电路(9)的输入端; 由实时解相电路(10)、相位修正电路(11)和表面形貌值计算电 路(12)依次连接构成的实时相位数据处理电路(18); 由直流电源(14)输出的电压和交流信号源(16)输出的正弦调制 信号经半导体电流调制器(15)对所述光源(1)进行驱动和调制; 所述的光电探测元件(6)的输出端接所述的第一放大器(7)的输 入端,所述的交流信号源(16)的输出端同时接所述的第二放大器(8) 的输入端,所述的计算电路(9)的输出端接所述的实时解相电路(10) 的输入端,所述的表面形貌值计算电路(12)的输出端接一计算机(13)。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B9/02(2006.01)I
IPC分类号
G01B9/02(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2009.04.01
法律状态
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 法律状态信息
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 放弃生效日: 2007.2.7
法律状态公告日
2008.01.09
法律状态
授权 法律状态信息
授权

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司
代理人姓名
张泽纯

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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