专利名称 ---【 微位移高精度实时干涉测量装置 】

基本信息
申请号
CN200720067118.1
申请日
2007.02.07
公开(公告)号
CN201016705
公开(公告)日
2008.02.06
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
何国田;王向朝; 专利类型 实用新型
摘要
一种微位移高精度实时干涉测量装置,包括由半导体激光器、准直 扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干 涉仪,其特点是:所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电 路归一化电路和单片机,该单片机具有相位连续化处理软件,该单片机 的输出端与示波器的输入端相连,直流电源和信号源通过调制器与所述 的半导体激光器相连接,所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相 连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度,扩展测量范围,使用 时不需要校正,操作简便,可靠性高。
主权项
1、一种微位移高精度实时干涉测量装置,包括由半导体激光器(1)、 准直扩束镜(2)、分束器(3)、参考平板(4)、待测量物体(5)和 探测元件(6)组成的泰曼格林干涉仪,其特征在于:所述的探测元件(6) 的输出端接实时信号处理电路(7)输入端、该实时信号处理电路(7) 输出端接归一化电路(8)输入端,该归一化电路(8)输出端接单片机 (9)输入端,该单片机(9)具有相位连续化处理软件,该单片机(9)的输 出端与示波器(10)的输入端相连,直流电源(11)和信号源(12)通 过调制器(13)与所述的半导体激光器(1)相连接,所述的信号源(12) 还与所述的实时信号处理电路(7)相连接。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B9/027(2006.01)I
IPC分类号
G01B9/027(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2009.09.16
法律状态
专利权的主动放弃 法律状态信息
专利权的主动放弃 授权公告日:2008.2.6
法律状态公告日
2008.02.06
法律状态
授权 法律状态信息
授权

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司
代理人姓名
张泽纯

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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