专利名称 ---【 用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘及其制作工艺 】

基本信息
申请号
CN201010033965.2
申请日
20100107
公开(公告)号
CN101811871B
公开(公告)日
20100825
申请(专利权)人
中国科学院半导体研究所
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
发明人
殷海波;王晓亮;胡国新;冉军学;肖红领;张露;李晋闽; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘的制作工艺,包括以下步骤:在纯度≥98%、平均粒径0.5μm以下、具有流动性的碳化硅微粉中添加烧结助剂,采用干式混合法形成混合物;采用干压成型工艺压制成型以形成坯体;对坯体进行高温真空烧结;对烧结后的坯体磨削加工以形成衬托盘。本发明还涉及一种采用上述工艺制作而成的用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘。
主权项
一种用于金属有机物化学沉积设备的衬托盘的制作工艺,包括以下步骤:在纯度≥98%、平均粒径0.5μm以下、具有流动性的碳化硅微粉中添加烧结助剂并形成混合物;采用干压成型工艺压制成型以形成坯体;对坯体进行高温真空烧结;对烧结后的坯体磨削加工以形成衬托盘,其中:添加的烧结助剂由碳、硼或硼化物构成,从而混合物的重量百分比组分为:碳化硅90%~95%,碳4%~8%,硼或硼化物1%~2%;在高温真空烧结步骤中,将坯体置于真空烧结炉内,经过2000~2200℃的高温,使其密度增加到3.05~3.10g/cm3。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C16/44

 

法律状态信息
法律状态公告日
20100825
法律状态
公开 法律状态信息
CN201010033965 20100825 公开 公开
法律状态公告日
20101013
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201010033965 20101013 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/622申请日:20100107
法律状态公告日
20121121
法律状态
授权 法律状态信息
CN201010033965 20121121 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
王新华


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