专利名称 ---【 透镜中心误差干涉测量系统 】

基本信息
申请号
CN201110036678.1
申请日
20110212
公开(公告)号
CN102175142A
公开(公告)日
20110907
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
蒋世磊;汪宝旭; 专利类型 发明专利
摘要
透镜中心误差干涉测量系统,包括:激光器、准直镜、起偏器、第一分光镜、第二分光镜、第一λ/4波片、参考反射镜、上可调反射镜、下可调反射镜、下固定反射镜、上固定反射镜、第二λ/4波片、检偏器、上遮光片、下遮光片、成像镜头、CCD相机、计算机及精密回转工作台。本发明能够在一次装夹过程中对球面和轴对称非球面透镜前后表面中心误差进行测量,测量效率高,且操作简单。
主权项
透镜中心误差干涉测量系统,其特征在于包括:激光器(1)、准直镜(2)、起偏器(3)、第一分光镜(4)、第一λ/4波片(5)、参考反射镜(6)、第二分光镜(7)、上遮光片(8)、上可调反射镜(9)、下可调反射镜(10)、固定反射镜(11)、下遮光片(12)、第二λ/4波片(13)、检偏器(14)、成像镜头(15)、CCD相机(16)、计算机(17)及精密回转工作台(18);激光器(1)发出的激光束经准直镜(2)扩束后,经起偏器(3)变成线偏振光,该偏振光束经第一分光镜(4)将入射光束分为参考光束与测量光束,所述参考光束经第一λ/4波片(5),入射到参考反射镜(6)上,并被参考反射镜(6)反射,参考光束两次通过第一λ/4波片(5)后偏正方向改变90°;所述测量光束经第二λ/4波片(13)和第二分光镜(7)分为上下两束测量光束,分别用于被测透镜(19)上下表面中心误差的测量;当打开上遮光片(8)而关闭下遮光片(12)时,上测量光束经上可调反射镜(9)垂直入射到被测透镜(19)的上表面并沿原路返回,上测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°,并与参考光束汇合并发生干涉;当打开上遮光片(8)而关闭下遮光片(12)时,下测量光束经固定反射镜(11)和下可调反射镜(10)垂直入射到被测透镜(19)的下表面并沿原路返回,下测量光束两次通过第二λ/4波片(13)后偏振方向改变90°,并与参考光束汇合并发生干涉;前述干涉光束经检偏器(14)后得到相应的干涉条纹,经过成像镜头(15)成像后,干涉条纹被CCD相机(16)接收,然后转动精密回转工作台(18),通过观察计算机(17)显示和记录的干涉条纹的变化,计算得出透镜前后表面中心误差的测量结果;其中上遮光片(8)和下遮光片(12)用于测量光束的选择。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B9/02

 

法律状态信息
法律状态公告日
20110907
法律状态
公开 法律状态信息
CN201110036678 20110907 公开 公开
法律状态公告日
20111130
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201110036678 20111130 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20110212
法律状态公告日
20121031
法律状态
授权 法律状态信息
CN201110036678 20121031 授权 授权
法律状态公告日
20160323
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
CN201110036678 20160323 专利权的终止 未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20110212授权公告日:20121031终止日期:20150212

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
卢纪;成金玉


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