专利名称 ---【 基于干涉原理的透镜中心误差测量系统 】

基本信息
申请号
CN201110047391.9
申请日
20110228
公开(公告)号
CN102175433A
公开(公告)日
20110907
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
汪宝旭;蒋世磊; 专利类型 发明专利
摘要
一种基于干涉原理的透镜中心误差测量系统,包括:激光器、准直镜、起偏器、分光棱镜、分光镜、第一λ/4波片、参考反射镜、上可调反射镜、下可调反射镜、下固定反射镜、上固定反射镜、第二λ/4波片、检偏器、成像镜头、CCD相机、计算机及精密回转工作台。本发明能够同时对球面和轴对称非球面透镜前后表面中心误差进行测量,测量效率高,且操作简单,不会降低干涉条纹的对比度。
主权项
一种基于干涉原理的透镜中心误差测量系统,其特征在于包括:激光器(1)、准直镜(2)、起偏器(3)、分光棱镜(4)、分光镜(5)、第一λ/4波片(6)、参考反射镜(7)、上可调反射镜(8)、下可调反射镜(9)、下固定反射镜(10)、上固定反射镜(11)、第二λ/4波片(12)、检偏器(13)、成像镜头(14)、CCD相机(15)、计算机(16)、精密回转工作台(17)及被测透镜(18);激光器(1)发出的激光束经准直镜(2)扩束后,由起偏器(3)将出射激光束转变为线偏振光,分光棱镜(4)将入射的平面偏振光分成两束平行光束;上述两束平行光束经分光镜(5)被分为参考光束与测量光束,前述参考光束经第一λ/4波片(6)后入射到参考反射镜(7)上,被参考反射镜反射,参考光束两次通过第一λ/4波片(6)后偏振方向改变90°;所述测量光束经第二λ/4波片(12)后,通过上固定反射镜(11)水平入射到上可调反射镜(8)上,然后调整上可调反射镜(8)使得上测量光束垂直入射到被测透镜(18)的上表面并沿原路返回,上测量光束两次通过第二λ/4波片(12)后偏振方向改变90°,并与所述参考光束汇合并发生干涉;下测量光束经第二λ/4波片(12)后,通过下固定反射镜(10)水平入射到下可调反射镜(9)上,然后调整下可调反射镜(9)使得下测量光束垂直入射到被测透镜的下表面并沿原路返回,下测量光束两次通过第二λ/4波片(12)后偏振方向改变90°,并与所述参考光束汇合并发生干涉,前述两组干涉光束经检偏器(13)后分别得到两组干涉条纹;经过成像镜头(14)成像后,干涉条纹被CCD相机(15)接收,然后转动精密回转工作台(17),通过观察计算机(16)显示和记录CCD相机(15)接收的干涉条纹的变化,并且计算机(16)计算得出透镜前后表面中心误差的测量结果。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01M11/02

 

法律状态信息
法律状态公告日
20110907
法律状态
公开 法律状态信息
CN201110047391 20110907 公开 公开
法律状态公告日
20111130
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201110047391 20111130 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20110228
法律状态公告日
20120905
法律状态
授权 法律状态信息
CN201110047391 20120905 授权 授权
法律状态公告日
20160413
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
CN201110047391 20160413 专利权的终止 未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20110228授权公告日:20120905终止日期:20150228

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
成金玉;贾玉忠


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