专利名称 ---【 一种光学球面曲率半径的检测方法 】

基本信息
申请号
CN201110128160.0
申请日
2011.05.18
公开(公告)号
CN102168955A
公开(公告)日
2011.08.31
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
发明人
王孝坤;李锐刚;郑立功;张学军; 专利类型 发明专利
摘要
一种光学球面曲率半径的检测方法,涉及光学球面曲率半径的测量方法,它解决了现有测量光学球面的曲率半径的方法存在误差,并且现有测量方法较难精确实现对大曲率半径的球面镜进行测量的问题,其方法为:调整靶标球与干涉仪的相对位置,判断靶标球的曲率中心与干涉仪出射波前焦点是否重合;是,则激光跟踪仪测量靶标球的曲率中心坐标,所述靶标球的曲率中心坐标即为干涉仪出射波前焦点的坐标;否,继续调整靶标球与干涉仪的相对位置;直到待测球面镜达到零条纹干涉状态;采用激光跟踪仪测量待测球面镜上多点的位置坐标;然后将多个值进行平均和统计运算,获得待测光学球面镜的曲率半径。本发明适用于光学测量技术领域。
主权项
一种光学球面曲率半径的检测方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、调整靶标球(3)与干涉仪(1)的相对位置,判断所述靶标球(3)的曲率中心与干涉仪(1)出射波前焦点是否重合;如果是,则执行步骤二;如果否,则继续调整靶标球(3)与干涉仪(1)的相对位置;步骤二、激光跟踪仪(2)测量靶标球(3)的曲率中心坐标,所述靶标球(3)的曲率中心坐标即为干涉仪(1)出射波前焦点的坐标;步骤三、反复调整待测球面镜(7)与干涉仪(1)的相对位置,使待测球面镜(7)达到零条纹干涉状态;采用激光跟踪仪(2)测量待测球面镜(7)上多点的位置坐标;获得待测球面镜(7)曲率半径的多个值;步骤四、将步骤三获得待测球面镜(7)曲率半径的多个值进行平均和统计运算,获得待测光学球面镜(7)的曲率半径。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B11/255(2006.01)I
IPC分类号
G01B11/255(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2015.07.08
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/255 申请日:20110518 授权公告日:20120919 终止日期:20140518
法律状态公告日
2012.09.19
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2011.10.12
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/255 申请日:20110518
法律状态公告日
2011.08.31
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人姓名
陶尊新

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间
SEA null CN101526341A BEIJING INST TECHNOLOGY 20090909
SEA null CN101545760A UNIV NANJING SCIENCE & TECH 20090930
SEA null CN101825446A CHANGCHUN OPTICS FINE MECH 20100908
SEA null EP1209442A2 ZYGO CORP [US] 20020529
SEA null JP2001235317A FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD 20010831
SEA null JP2010243289A NIKON CORP 20101028
SEA null JPH05340734A NIKON CORP 19931221
SEA null JPH0545140A RICOH KK 19930223
SEA null JPH09325004A NIKON CORP 19971216
SEA null JPH1172312A ASAHI OPTICAL CO LTD 19990316
SEA null JPS58193408A NTN TOYO BEARING CO LTD 19831111

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
SEA null a 《东南大学学报(自然科学版)》20091130王青等干涉仪测量球面曲率半径的精度分析全文1-5第39卷,第增刊(Ⅱ)期2
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